���@�R���ж�NĿ�R�����R��ҕ��(ch��ng)���������� ���ù�는�(sh��)�@���g(sh��)���Ծ��ܹ�ų�����y(c��)��Ԫ���� �������M(j��n)Ӌ(j��)��C(j��)���g(sh��)������Ŕ�(sh��)�@ϵ�y(t��ng)�ɼ����L(zh��ng)����̖(h��o)��(sh��)�r(sh��)ݔ��Ӌ(j��)��C(j��)���Ɍ���ܛ����CD202���M(j��n)�Д�(sh��)��(j��)̎��������ӡ���Y(ji��)����D�Σ���(zh��n)�_����Ч�� ���@�R������ƫ�[�����ڌ�(du��)��������M(j��n)�Мy(c��)���� �Էǽ��|�y(c��)��������������������������əz�(y��n)���Π��(f��)�s�������� �����Rȫ��ʹ����V�� ���R�Ŵ��� | ���Ŵ��� | �������x���L�� | ҕ��(ch��ng)ֱ�����L�� | 1× | 10× | ≈79 | ≈26.70 | 3× | 30× | ≈69 | ≈6.7 | 5× | 50× | ≈49 | ≈4 | �� ��W(xu��)��λ������Ҫ���g(sh��)����(sh��)�� �y(c��)�U��ֱ����[��(d��ng)������±3° ��λ׃��(d��ng)�ԣ���1μm ������5�L�r(sh��)���ɜy(c��)�������ȣ�≈15�L �y(c��)����N����0.1±0.03 �y(c��)���������L��:5-200 �x�����C(j��)���γߴ磨�L���L(zh��ng)×��×��=1300×1250×80 �x�����C(j��)������450�K | �C(j��)���f�ܹ����@�RJX13B���ڔ�(sh��)��ʽ�f�ܹ����@�RJX11B�Ļ��A(ch��)�ϲ���Ӌ(j��)��C(j��)���g(sh��)��(du��)�y(c��)����(sh��)��(j��)�M(j��n)�Д�(sh��)��(j��)̎���������˃�(y��u)��Ӱ���S�з����p��������l�y�y(c��)����ʹ�C(j��)���f���@ϵ�y(t��ng)���ܵõ��˴����ߣ�ܛ���ĿɽM���ԺͿ��_�l(f��)������(qi��ng)��ϵ�y(t��ng)�Ĺ��ܣ��ڸ�����(n��i)�M��V���Ñ�����Ҫ�� �C(j��)���f�ܹ����@�R�ǙC(j��)е���������I(y��)��Ӌ(j��)���y(c��)ԇ���V��ʹ�õ�һ�N����;Ӌ(j��)��?j��)x���������Á�y(c��)�����̃�(n��i)���κ�����ijߴ硢�Π�ǶȺ�λ�á� �� ���͜y(c��)����(du��)���У� �y(c��)�����N���������Ӱ塢�Ӱ�܇�����Ӱ�㊵����_ģ��݆���Π �y(c��)�����ݼy���ݼy��Ҏ(gu��)���z�U���U�ȣ����Џ���С�����ݾࡢ���Ͱ�ǡ� �y(c��)���X݆�L���Č�(d��o)�̡��X�κ����ͽǡ� �y(c��)���·�塢�@ģ��װ��ϵĿ�λ�öȣ��I�۵Č�(du��)�Q�ȵ���λ�`� �y(c��)�������� X���г̣�200�L �A�����_(t��i)ֱ����φ213�L Y���г̣�100�L ƽ�����_(t��i)�ߴ磨�L����260×270 �y(c��)��Ŀ�R�Ƕȷք�������360° ���g�����A�o�L(zh��ng)�ȣ�700�L �ݼy݆��Ŀ�R�Ƕȷք�������±7° ���g���ݼ{�����ֱ����φ100�L �A�����_(t��i)�Ƕȷք�������0°~360° ���ᘼ����A�o�L(zh��ng)�ȣ�200�L �A�ֶ��^�Ƕȷք�������0°~360° ���ᘼ����ݼ{�����ֱ����φ250�L ���@�R�����ăAб������±12° ����M�p���D(zhu��n)������±90° �ֶ�ֵ�� X��Y��ֶ�ֵ��0.0002�L �A�����_(t��i)�Ƕȷֶ�ֵ��30″ �y(c��)��Ŀ�R�Ƕȷֶ�ֵ:1′ �A�ֶ��^�Ƕȷֶ�ֵ��1′ ݆��Ŀ�R�Ƕȷֶ�ֵ��±12 ���@�R�����Aб�Ƕȷֶ�ֵ��30′ �y(c��)����(zh��n)�_�ȣ����y(c��)���c�x���ضȲ�e������0.5��,�x���҃�(n��i)�ض�20��±1�棩�� ��1+L/100��μm������L��y(c��)���L(zh��ng)�ȣ���λ���L ���R�Ŵ��ʣ��������x��ҕ��(ch��ng)ֱ���� |