�� �p��������У� ���H���w�|���������У� ����0~30sccm ��0~1000sccm�� �����Ӱl�������Ƽ����И�·����·
�� �������а��b/O ���ܷ�Ȧ�� �մ������ܣ��o����ܣ���0-1000sccm�� ���������ܣ��o����ܣ���0-6SLPM�� �߹�ģ������150psi���� �����ضȿ���125˚C�� ���c�͝M���̸߷�����
�� ���N�����ӿڿ��x�� ��������OӋ�� �h�̰��b�� ����У��CO2��N2 ���Ę˶�
�� ���ӹ����g�� �͚����ٶ�����-0.1sccm�� �z�y����200 ��/ ��犡� ����푑���������p�ģ��߷����؏��ԡ� ������g�ṩ��������һ���ԡ� �͉������_�y����0.001-4��ˮ����