nre-4000��һ�(d��)��ʽrie����(y��ng)�x�ӿ��gϵ�y(t��ng)����������ԡ�^���w�ֲ��b���Լ�ˮ��rf��Ʒ.���в��P䓹����Լ�13"�����wʽ�A�����Xǻ,���ھ��AƬ�b�d.ǻ�w�Ѓɂ�(g��)�˿�:һ��(g��)����2"��ҕ��,��һ��(g��)���������\��.ԓϵ�y(t��ng)����֧�����12���ľ��AƬ��ǻ�w�鳬���O(sh��)Ӌ(j��)�����Ҹ���(j��)������ձÿ����_(d��)��10-6 torr ���С�ĘO����ա�ԓϵ�y(t��ng)ϵ�y(t��ng)������20mtorr��8torr֮�g������¹�������ձýM����һ��(g��)��(ji��)���y,һ��(g��)250l/s�Ĝu݆���ӱ�,�V�W(w��ng)�^(gu��)�V��,�Լ�һ��(g��)10cfm�ęC(j��)е��(��formblin����).rf���l����ͨ�^(gu��)600w,13.56mhz���Դ���Ԅ�(d��ng)�{(di��o)�C���ṩ��ϵ�y(t��ng)�����m(x��)�O(ji��n)��ֱ����ƫ��,ԓ��ƫ�����Ը��_(d��)-500v.�@��(du��)�ڸ����ԵĿ��g���P(gu��n)��Ҫ��
���r(sh��)�g:2025-01-06