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該設備是一款小型磁控濺射鍍膜儀，主要特點是設備體積小，結構簡單緊湊易于操作，對實驗室供電要求低；該系列設備主要部件采用進口或者國內最優的配置，從而提高設備的穩定性；另外自主開發的智能操作系統在設備的運行重復性及安全性方面得到更好地保障。該設備標配2只φ2英寸永磁靶，一臺500w直流濺射電源（用于濺射金屬導電材料），1臺300w全自動匹配射頻濺射電源（用于
更新時間:2025-04-21
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