�����x���߲��������x��ߙ�(qu��n)���ďS��,���߲������xһ���s�@�Ї�Ӌ(j��)��Ժ�yԇ�C��,ISO9001�J(r��n)�C��CE�J(r��n)�C����߀�Ъ�(d��)�ҵČ����a(ch��n)Ʒ��ͨ�^���Ҽ����¼��g(sh��)��I(y��) ���߲������x���Ќ��е��p����ռ��g(sh��)���༉����������������(n��i)Ψһ���M(j��n)���ֲ��yԇ�ăx����
�a(ch��n)Ʒ��̖��JW-BK122W �����x�a(ch��n)Ʒ���飺�o�B(t��i)�����������x������BET�����c(di��n)�����c(di��n)����Langmuir������桢���w�e�����ݣ�������Ó�����Ȝؾ���BJH������Ó������״��������MP/SF/HK���������ȶ�N�yԇ���ܡ������M(j��n)�ڸ߾��ȉ�����������1000torr��10torr�����͜�늴��y���ƣ���������ҜضȌ�(sh��)�r(sh��)�O(ji��n)�y���ܣ���(d��)��(chu��ng)��������w�e���_�yԇ���ܣ�����M(j��n)�ڙC(j��)е�ã���նȿɸ��_(d��)10-2Pa������2��(g��)��Ʒ����վ��ͬ�r(sh��)�M(j��n)��1��(g��)��Ʒ������������ͬλÓ��̎�����҃�վ��ͬ�r(sh��)�M(j��n)��Ó������ɳ������ؿ���Ó���ٶȣ�Ó��ض���߿��_(d��)400�档ȫ�µĶ��ܛ������ϵ�y(t��ng)��֧��Windows 7/XPϵ�y(t��ng)��������LAN���B�ӡ�ԓ�x��ͬ�r(sh��)�߂����ܶȜyԇ���ܣ��������g(sh��)�������ܶ�ݔ�뷨�ȱ�����yԇ���ܣ��ɹ�����x��
�����x���ܱȱ���y���� BET�����c(di��n)�����c(di��n)���ȱ��桢Langmuir�ȱ��桢�����y��BJH���ֲ��y���� �����w�e��ƽ����������/�������c�e�ֲַ��׳�Ҏ(gu��)������ �����w�e������(n��i)����e��t-�D��D&R��MP�ȣ����ֲ��yԇ�� ���։�10-7 - 10-1�����ĵȜ����������y�� 0.35-2nm���ֲ�������HK��FS�������ܶȜyԇ
�����x���g(sh��)����(sh��)�����xԭ�������� �͜ص��������o�B(t��i)�����������x�������w�� ����?d��)⣬Ҳ����봡�����������̼���������w�����x�O����գ� 4 - 6.7×10-3 Pa �� 3 - 5×10-5 Torr�������x��?d��)�։��?nbsp; 4×10-7 –0.995�����x���ƾ��ȣ� �yԇ�����c(di��n)������С�g����С��0.1 KPa ��0.75 Torr�����yԇ�c(di��n)�ɶ��_(d��)һǧ��(g��)�� 10-7-10-1�����yԇ�����c(di��n)����50�c(di��n)�����x�yԇ������ �ȱ��� ≥ 0.01 M2/g���oҎ(gu��)������ ������� 2 - 400nm ������0.35 - 2nm�����x�yԇ���ȣ� ≤±2% 0.35-2nm ����Ɏ��؏�(f��)���� ≤0.02nm�����x�yԇЧ�ʣ� ���c(di��n)BET�ȱ���ÿ��ƽ��20min �������r(sh��)�g�S���|(zh��)��ͬ���������x�A(y��) ̎ ���� �ɂ�(g��)��Ʒͬλ̎�����ض�50-400�棬±1�������x����ܛ���� BET�����c(di��n)�����c(di��n)����Langmuir��BJH��t-Plot��MP��D-R��HK��FS��
�����x��ɫ �� �ȱ���x���Ї���(n��i)Ψһͨ�^���Ҽ����g(sh��)�b���Įa(ch��n)Ʒ�����ƺ͜yԇ�����_(d��)�����H���M(j��n)ˮƽ�� �� �ȱ���x���Ъ�(d��)���p�����ϵ�y(t��ng)���yԇϵ�y(t��ng)��(sh��)�H��նȿ��_(d��)0.01Pa��P/Po�_(d��)10-7�� �����M�����לyԇ�l���� �� �ȱ���x���Ъ�(d��)�еij���c����ٶȾ��ܿ��Ƽ��g(sh��)�����C�˜yԇ�Ĝ�(zh��n)�_�ԺͰ�ȫ�ԣ� �� �ȱ���x���Ъ�(d��)�ص�Һ�����;�������cУ�����g(sh��)���B�m(x��)�yԇ10С�r(sh��)Ҳ��������Һ���� �� �ȱ���x�������ƵĘ�(bi��o)��(zh��n)�Ȝؾ���(sh��)��(j��)���Ҏ(gu��)���ķ����������׳�Ҏ(gu��)�yԇ���g(sh��)����(n��i)�I(l��ng)�ȣ� �� �ȱ���x���Ї���(n��i)Ψһ�����ֲ��yԇܛ�����g(sh��)��HK��FS�ȣ� �� �ȱ���x���Ќ���ܛ�������Rȫ�������Ѻá��������㡢��(sh��)�r(sh��)�@ʾ��Ʒ������Ó������׃����ƽ���^�̣� �� �ȱ���x���Ќ�(sh��)�(y��n)ȫ���Ԅ�(d��ng)�������ܻ����ƣ��L�r(sh��)�g�\(y��n)����ȫ���ԟo��ֵ�أ�
�����x��(y��ng)���I(l��ng)��:�������������̼,���z,���������X,���ӺY,����̿,�����},����ʯ,��ʯ�ȣ�;�մ�ԭ���ϣ��������X,�����,�����},�����X,��������,�����,������,ʯӢ,̼����ȣ�;���ܲ����a(b��)��(qi��ng)������̿��,��̼��,�{��̼���},̼��,��̿�ڵȣ�;늳ز��ϣ�������,�i���,ʯī,�����,�����,�����F�,����,��Ԫ��,��Ԫ�ز���,�ۺ���,�ۺ������,�ۺ���늳ز���,�A�i����,��x�Ӳ���,��i����,�A�Բ���,�\�i����,ʯӢ��,�V�i����,̼�Բ���,�\�ղ���,�\������,��Ȳ��,懚����,��k����,��Ĥ,�������Y,���ӄ�,��(d��o)늄�,���g��,�i��,늽�������i,ʯī��,���������,��ĭ�,����ʯī����,���O�������|(zh��),ؓ(f��)�O�������|(zh��),�\�۵ȣ�;����������������\,�����},�����c,�����V,�����^,�����F,�����~�ȣ�;���Է�ĩ���ϣ������������F,�F���w,�������F�ȣ�;�{���ٲ��ϣ���{���y��,�F��,�~��,�u��,懷�,�X��,Ⓑ۵ȣ�;�h(hu��n)���ИI(y��)���������,������,�o�C(j��)���,̼���},������,�V���,���e��,�Ҹ���ȣ�;�o�C(j��)���w���ϣ��������,������⁵ȣ�;�{�ײ��ϣ���{���w����,�{���մɲ��ϵȣ�;ϡ��,ú̿,ˮ��,���ܲ���,��������������,������,���V��,�l(f��)��ϡ����ĩ����,���w����,��ĩ����,����(x��)�w�S,�����,��(f��)�ϲ��ϵȷ��w���w�����ϵıȱ���e�����ęz�y����,�V���m���ڸ�У������Ժ�������о��ͷ��w�������a(ch��n)��I(y��)�a(ch��n)Ʒ�|(zh��)���O(ji��n)��.
�����x�Č��I(y��)��(qu��n)���аl(f��)�̌��I(y��)�аl(f��)�ȱ��棬�ȱ���e���ȱ���e�x���ȱ���y���x�����ܶȃx�����ܶȜyԇ�x���ȱ���e�yԇ�x���ȱ���e�y���x���ȱ��漰�������x���ȱ���e�����x���������x�����ֲ������ֲ��y���x���������x����϶�ʜy���x����϶�ʷ����x����϶�ȷ����x���ȱ��漰��϶�ʜy���x�����ݜy���x�����������x�ȡ����߲���һ�����аl(f��)�����a(ch��n)���N�������x���z�y�x���ľ��������I(l��ng)�ȵ�λ�Ĺ�˾
����˾��(j��ng)�I�ȱ��棬�����x���ȱ�������x���ȱ���yԇ�ȣ��|(zh��)�����C���gӭ��ԃǢՄ�������ɱ������߲��Ƽ��پW(w��ng)http://www.jwgb.netԭ��(chu��ng)���gӭ�D(zhu��n)�d���D(zhu��n)�dՈ������̎���x�x�������x���g(sh��)����Ԕ�ĿɅ���http://www.jwgbbet.com �� http://www.betbbm.com
�����x���ܺ��飺�yԇ������ �o�B(t��i)����������վ��(sh��)��������2��(g��)��Ʒ����վ��1��(g��)P0�yԇվ��2��(g��)��ƷÓ��վ���yԇ���ȣ� �yԇ���ȸߡ��جF(xi��n)�Ժá��؏�(f��)���`��С��±2%�� �yԇ�������ȱ���0.01m2/g���ϣ���0.35-2nm�����2-50nm�����50-500nm����Ʒ���:��ĩ,�w��,�w�S��Ƭ����ϵȿ��b���Ʒ�ܵIJ��ϡ��yԇ���w�N�N2���������������wCO2��Ar��Kr,He�����飨CH4��������C6H6�����ױ���C7H8�����Ҵ���C2H5OH���ȣ�P0�yԇ�����Ъ�(d��)�������������P0���yԇվ���։��yԇ�ĸ��ԣ������yԇ��ԭ�b�M(j��n)�ډ����������������yԇ����0-1.6bar��0-160KPa���������`��≤0.15%���η։�P/P0���_(d��)��1*10-7���c(di��n)��(sh��)����50��(g��)����ξ���P0�Č�(sh��)�r(sh��)�yԇ���ܣ�ʹP/P0��څ���`���c(di��n)�r(sh��)�Ŀ��ƾ����_(d��)��0.998����Ʒ�A(y��)̎���� ͬ�r(sh��)̎���Ʒ��(sh��)����2��(g��)����·Ó��վ���Ъ�(d��)���ؿأ������Ъ�(d��)�����r(sh��)���ܣ���֧���c�yԇͬ���M(j��n)�еIJ�ͬ�ض��c��ͬ�r(sh��)�g�Ę�ƷÓ��̎������Ʒ�A(y��)̎��ģʽ�����Ї���(n��i)��“��ͨ�ӟ����շ��ӔU(ku��)ɢģʽ”��“�����ÓQģʽ”�ɷN���x���ܣ������ÓQģʽ�������ӔU(ku��)ɢģʽЧ�����1�����ϣ��ɹ�(ji��)ʡһ�����ϵ��A(y��)̎��r(sh��)�g����Q�����o�B(t��i)����Ʒ�Ƃ�r(sh��)�g�L�Ć��}�� �����x�yԇЧ�ʣ� ����Ͷ�������ƣ���С��������Ʒ2-3min/�։��c(di��n)���д���������Ʒ3-5min/�։��c(di��n)��BET���c(di��n)��15-30min/1��(g��)��Ʒ��BET���c(di��n)��6-10min/1��(g��)��Ʒ����(bi��o)��(zh��n)���yԇ60-120min/1��(g��)��Ʒ������(x��)���yԇ120-300min/1��(g��)��Ʒ�����Ϝyԇ�r(sh��)�g��������Ʒ�A(y��)̎��r(sh��)�g��Һ������ƣ�����Һ�����ŷ�����ϵ�y(t��ng)�������yԇ�^��������Һ���]�l(f��)ʹҺ����׃�������������w�e׃������ߜyԇ���ȣ��D�λ����ƽ��棺�H�͵Ŀ��ƱO(ji��n)ҕ���棬����(f��)�s�ăx��������B(t��i)�ԽY(ji��)��(g��u)�D����ʽչ�F(xi��n)��ʹ�x���Ĺ�����B(t��i)һĿ��Ȼ�������ڽY(ji��)��(g��u)�D�ό�����(g��)�y�T����ձá����������ݡ��ؿص�����Ӳ���M(j��n)�в������p�Đ�Ŀ�������x�����ԙzϵ�y(t��ng)���x������Ӳ���ԙz�͚�·�������ԙz���ܣ��܉��Ԅ�(d��ng)�z�y��Ʒ���Ƿ��b��ԇ�܊A���Ƿ�Q�o�����z�鲢�_��©��λ�ã��o��������ʾ���Z����ʾ���Z����ʾ�����Ъ�(d��)�ص������Z����ʾ���ܣ��h(yu��n)�̿��ƣ���ͨ�^����W(w��ng)��INTER�W(w��ng)�h(yu��n)�̌��x���M(j��n)�в������˹�����Ҫ�����ۺ����߿����k���Ҍ�(sh��)�F(xi��n)�h(yu��n)�̌���(sh��)�(y��n)�҃�(n��i)�x���IJ������Ƽ��yԇ�^�̣�
�����x�yԇ?y��n)�Փ�c��(b��o)���(n��i)�ݣ�
1��������Ó���Ȝؾ��� 2��BET���c(di��n)���ȱ���SBET-O 3��BET���c(di��n)���ȱ���SBET-M ��BET����(sh��)CBET 4���ʸ���Langmuir���ȱ���S Langmuir ���ʸ�ƽ�ⳣ��(sh��)b Langmuir 5���y(t��ng)Ӌ(j��)�����Ӻ�ȷ���ȱ��棨STSA��S�� 6�����ȹ����(b��o)������ܶȣ� 7��BJH�����ݿ��ֲ������֡��e�ֿ��w�e������e�����ֲ�������D�������D�� 8��MK-plate����ƽ�а�ģ�ͣ����ݿ��ֲ�����BJH�����a(b��)�䣬�m�ό�Ƭ�Ӡ�Y(ji��)��(g��u)���Ϸ������� 9��t-plot����Boder����������V-t�D��t�����ֲ��D�� 10��MP����Brunauer�� ��������V-t�D�����ֲ��D����ԓ�������]����ͬ������������(sh��)��ͬ�����أ��^t-plot���ӽ��挍(sh��)ֵ�� 11��D-R����Dubinin- Astakhov��������
�����x����ϵ�y(t��ng)��
1����(qi��ng)�����(w��n)���Ŀ���ϵ�y(t��ng)���x�����Ќ�(sh��)�r(sh��)�Ĕ�(sh��)��(j��)�c��B(t��i)���湦�ܣ���ʹ�l(f��)��ͨӍ�Дࡢ�����늵�������r���x���؆�����Ȼ�܉�֏�(f��)�yԇ��(sh��)��(j��)���M(j��n)��yԇ�����^�m(x��)�yԇ��2���������ܶ���ȫ��Һ������������ϵ�y(t��ng)��ԓϵ�y(t��ng)���P(gu��n)�I�c(di��n)���ڣ���(d��ng)�l(f��)�������늻��O(sh��)���؆��r(sh��)�����Ա����؆��O(sh��)�������ˆTðȻ�½�Һ�������ض����ߺ�Ʒ�܃�(n��i)�������wѸ�������ʹ��Ʒ�ܱ��ѵ�Σ�U(xi��n)��3����(y��u)������ձÆ�ͣ����ϵ�y(t��ng)���ڜyԇ�^������ձßo��һֱ̎���\(y��n)�Р�B(t��i)���pС���������L��ձÉ�����4��Ԕ�M�ăx���\(y��n)����־ӛ䛹��ܣ�ԓ�x���\(y��n)����־�ڃx���\(y��n)���^�����Ԅ�(d��ng)ӛ䛃x����ÿһ�l�����c��(zh��)�нY(ji��)���������y�T���_�P(gu��n)���õĆ�ͣ��ԭʼ�ɼ���(sh��)��(j��)�ȣ��r(sh��)�g���_���롣ԓ��־��x�����\(y��n)���c�ۺ��ṩ���ϣ������x�yԇ�����
1��40������������≥99.999%��ƽ��ʹ�Õr(sh��)�g2-3�ꣻ2��ؐʿ���p����ձã��������ͣ��O����գ�4-6*10-2Pa��3���������Ҋ���ÆΣ�
�����x�͑�����(w��).
�� ��ǰ����(w��) ؐʿ�¹�˾���͑��ṩ��Ʒ���M(f��i)ԇ�y���Է���͑���ُǰ���{(di��o)�бȌ����˽�yԇ��(sh��)��(j��)�c����x���IJ�e�������҂��ṩ��Μyԇ���Է���͑��u�r(ji��)�x���yԇ���؏�(f��)�Լ���(w��n)���ԡ��������ُ�͑���Ҫ�˽�x����ʹ�Æ�λ��ʹ����r��Ч�����ҹ�˾�����ṩʹ�ÏS���Ԓ��ԃ�˽⡣
�� �ۺ����(w��) ����һ��(g��)���I(y��)�������x�����a(ch��n)�S�ң�ؐʿ�¹�˾���ṩ���܃�(y��u)�����|(zh��)���ăx����ͬ�r(sh��)��߀���ṩ�ܵ����ۺ����(w��)������Ñ��ĺ��֮�n��
1.���b���{(di��o)ԇ����Ӗ(x��n)���\(y��n)ݔ�����M(f��i)���Ñ����b���{(di��o)ԇ����Ӗ(x��n)���\(y��n)ݔ����؛���T�� 2.�����ڣ��ڱ����ڃ�(n��i)���M(f��i)���Ñ��ṩ�S�ȷ���(w��)�� 3.ܛ�����������Ñ����M(f��i)�ṩܛ����������(w��)�����(xi��ng)����(w��)���ܱ��������ơ� 4.���������(y��ng)������(y��ng)��������דp���� 5.����(w��)��ʽ�c�r(sh��)Ч�� �ᾀ�Ԓ��ȫ���y(t��ng)һ��ԃ�Ԓ��400-6757-456����˾�ļ��g(sh��)�ˆT���N���ˆT���S�r(sh��)�����ṩ��ԃ����(w��)�� �W(w��ng)վ����˾�W(w��ng)վ�ṩ��˾��B���a(ch��n)Ʒ��B��ܛ�����d���Y�����d�����g(sh��)���������g(sh��)�v������˾��(d��ng)�B(t��i)�ȃ�(n��i)�ݡ� ���T����(w��)����˾����(w��)���ļ��g(sh��)�ˆT������(j��)�Ñ���Ո���S�r(sh��)�ṩ���T����(w��)���Ľӵ�Ո��֮�r(sh��)��һ�㲻���^48С�r(sh��)���_(d��)������(sh��)�ж��ڻ��ڻ��L�Ñ��ƶȡ�����]������˾�Ќ��T�ˆT̎���Ͱl(f��)������]�������S�r(sh��)�������l(f��)�����]�����������l(f��)����yԇ�Y(ji��)�����x���Y�ϡ�ܛ������Ϣ�� �ż�������Ԕ��(x��)��˾���a(ch��n)Ʒ�Ľ�B���ϣ��҂����S�r(sh��)ͨ�^EMS��DHL�ȷ�ʽ�]�ĵ��������С�
�� ��(j��ng)�N�̷���(w��)�ҹ�˾��ϵ�Юa(ch��n)Ʒ�N����ֱ�N�ͽ�(j��ng)�N�������N����Y(ji��)�ϵķ�ʽ�����Қgӭ������Ľ�(j��ng)�N�̼��˺������Ԍ�(sh��)�F(xi��n)��(j��ng)�N���������ҹ�˾�Įa(ch��n)Ʒ���g(sh��)��(y��u)�ݻ��a(b��)����(sh��)�F(xi��n)�������A���҂����齛(j��ng)�N���ṩ���Ƶ�֧�ַ���(w��)�͵Įa(ch��n)Ʒ��
ᘌ���(j��ng)�N�̵ķ���(w��)��Ҫ������
1.���Юa(ch��n)Ʒ��Ԕ��(x��)��B������������퓡�2.ȫϵ�Юa(ch��n)Ʒ����ǰ�c�ۺ��g(sh��)֧�֡�2.�a(ch��n)Ʒ��(y��ng)���ИI(y��)���I(l��ng)���Ԕ��(x��)��B�c�������a(ch��n)Ʒ�����P(gu��n)֪�R��Ӗ(x��n)�� 4.���I(y��)������֧�֣��f(xi��)����(j��ng)�N��Ͷ��(bi��o)�^���еĘ�(bi��o)�����������Ͷ��(bi��o)�^�������x�ļ��g(sh��)���}�� 5.�ṩ�o��(j��ng)�N�̘O�߸������Įa(ch��n)Ʒ�r(ji��)�_����(j��ng)�N�̼���K�Ñ����档6.�ṩ��(zh��n)�Կ�܅f(xi��)�h����(sh��)�F(xi��n)��(y��u)�ݻ��a(b��)
�����x�a(ch��n)Ʒ���P(gu��n)�P(gu��n)�I�~��ȫ�Ԅ�(d��ng)���ܱȱ���e�x���п��ֲ��yԇ�x,BET���ȱ���x,�ȱ���e�yԇ�x,�������ȱ���e�y���x,�ȱ���z�y�x,�ȱ���y���x,�ȱ���e�z�y�x,����ֲ��y���x,�ȱ���e�y���x,BET�ȱ���e�����x,�ȱ���y���x,�ȱ���yԇ�x,BET�ȱ�������x,���ݷe�y���x,�������x,���z�y�x,���y���x,���ֲ��y���x,��϶�ȷ����x,����ֲ������x,���ݷe�����x,���ֲ��z�y�x,���ֲ��y���x,�����x,�����x,�����x,�����x,�Y(ji��)��(g��u)�����x,���y���x,��϶�șz�y�x,��϶�Ȝy���x,ƽ�����yԇ�x,����ֲ��y���x,�Y(ji��)��(g��u)�z�y�x,�Y(ji��)��(g��u)�y���x,�������x,���ݷe�yԇ�x,�����x,�����x,�����x,ƽ�����y���x,�����x,���yԇ�x,���ֲ��yԇ�x,�����x,�����x,�������x,����ֲ��z�y�x,�����x,ƽ���������x,�������x,�������x,��϶�Ȝy���x,���ֲ������x,ƽ�����z�y�x,ƽ�����y���x,�Y(ji��)��(g��u)�y���x,�������x,�����x,�Y(ji��)��(g��u)�yԇ�x,�����x,�����x,��϶�Ȝyԇ�x,�����x���Ƿ��w���w�����ϵıȱ���e��������϶�ȣ��ֲ��ęz�y�����x��.
�����x��(y��ng)���I(l��ng)���m�����������������̼,���z,���������X,���ӺY,����̿,�����},����ʯ,��ʯ�ȣ�;�մ�ԭ���ϣ��������X,�����,�����},�����X,��������,�����,������,ʯӢ,̼����ȣ�;���ܲ����a(b��)��(qi��ng)������̿��,��̼��,�{��̼���},̼��,��̿�ڵȣ�;늳ز��ϣ�������,�i���,ʯī,�����,�����,�����F�,����,��Ԫ��,��Ԫ�ز���,�ۺ���,�ۺ������,�ۺ���늳ز���,�A�i����,��x�Ӳ���,��i����,�A�Բ���,�\�i����,ʯӢ��,�V�i����,̼�Բ���,�\�ղ���,�\������,��Ȳ��,懚����,��k����,��Ĥ,�������Y,���ӄ�,��(d��o)늄�,���g��,�i��,늽�������i,ʯī��,���������,��ĭ�,����ʯī����,���O�������|(zh��),ؓ(f��)�O�������|(zh��),�\�۵ȣ�;����������������\,�����},�����c,�����V,�����^,�����F,�����~�ȣ�;���Է�ĩ���ϣ������������F,�F���w,�������F�ȣ�;�{���ٲ��ϣ���{���y��,�F��,�~��,�u��,懷�,�X��,Ⓑ۵ȣ�;�h(hu��n)���ИI(y��)���������,������,�o�C(j��)���,̼���},������,�V���,���e��,�Ҹ���ȣ�;�o�C(j��)���w���ϣ��������,�,������⁵ȣ�;�{�ײ��ϣ���{���w����,�{���մɲ��ϵȣ�;ϡ��,ú̿����ú�ң�,ˮ�ࣨ�V���ۣ�,���ܲ���,��������������,������,���V��,����,���,ʯ�͔��ф�,�l(f��)��ϡ����ĩ���ϣ��ɹ�ۣ�,���w����,��ĩ����,����(x��)�w�S,�����,��(f��)�ϲ��ϵȷ��w���w�����ϵıȱ���e�����ęz�y����,�V���m���ڸ�У������Ժ�������о��ͷ��w�������a(ch��n)��I(y��)�a(ch��n)Ʒ�|(zh��)���O(ji��n)��.
�����x���I(y��)������ؐʿ��,�yԇ���ȸߣ��؏�(f��)�Ժ�,��վȫ�Ԅ�(d��ng)�����������x�@�Ç��Ҷ��(xi��ng)���g(sh��)����,����(n��i)Ʒ��,�h(yu��n)�N����,ؐʿ�x���ṩ���I(y��)����ǰ���g(sh��)֧�ֺ͵��ۺ����(w��).�gӭ�������ԃǢՄ,��վȫ�Ԅ�(d��ng)�������ȱ���e�Ϳ�϶�ʙz�y���I(y��)�N���Ԓ��400-6757-456
�gӭ���L���҂��ľW(w��ng)վ��www.bsdyq.com www.bbmjy.com www.bibiaomianji.com www.bibiaomian.com.cn www.bibiaomianji.com.cn www.3h-2000.com www.bsdsh.com www.xifuyi.comwww.best17.cnwww.beishide.comwww.bibiaomian.comwww.bibiaomianji.cn
����(sh��)Ҏ(gu��)��
�yԇ������ | �o�B(t��i)���������͜ص��������������������w�� |
�yԇ���w�� | ���������䡢�塢봡�������̼������� |
�yԇ������ | 0.0005(m2/g)�������o����(�ȱ���e)��2nm-500nm(��������)��0.35nm-2nm( �׳�Ҏ(gu��)����)�����w�e0.0001cm3/g-���o���� |
�؏�(f��)������ | ≤± 1.0%���ȱ��棩��≤0.02nm����Ɏ��� |
�yԇЧ���� | �ȱ���eƽ��ÿ��15min����ס������ƽ��ÿ��2-3С�r(sh��)�� |
����վ�� | 2��(g��)����վ���pվ�����M(j��n)�Мyԇ�� |
P0λ�� | 2��(g��)����վԭλ�O(sh��)�Ъ�(d��)����P0�ܣ���2֧���ɆΪ�(d��)���M(j��n)�ډ������������ƣ��Ɍ�(sh��)�r(sh��)�z �y�������P0ֵ��Ҳ�ɑ�(y��ng)�ô�≺ݔ�뷨��(zh��n)�_�y��P0ֵ��ͬ���H���g(sh��)��܉�� |
����ϵ�y(t��ng)�� | ÿ��(g��)����վԭλ�O(sh��)�Ъ�(d��)��������ϵ�y(t��ng)����2�ף������ɔ_�� |
���ϵ�y(t��ng)�� | ����“����ʽԭ�b�M(j��n)���p����Ƭʽ�C(j��)е��ձ�”���O����նȸ��_(d��)10-2Pa�� �������h���Ã�(n��i)��ʽ�C(j��)е�ã�����C(j��)е�õ��L�r(sh��)�g����(d��ng)Ӱ표yԇ���ȣ�ͬ�r(sh��)������Ч�����L�x����ʹ�É����� |
��ձ��� | ԭ�b�M(j��n)�ڙC(j��)е��ձã��O�����6.7* 10-2Pa�� |
Ó��ϵ�y(t��ng)�� | ͬλ����λ���Ó����һ�w�Ę�(bi��o)��(zh��n)���O(sh��)Ӌ(j��)����Ʒ������ͬ�r(sh��)�������M(j��n)������2��(g��)��Ʒ��ͬ�ضȼ��r(sh��)�g�Į�λÓ��̎����2��(g��)����վ��ͬ�r(sh��)�M(j��n)��2��(g��)��Ʒ��ͬ�ضȼ��r(sh��)�g��ͬλÓ��̎��������(g��)Ó��ϵ�y(t��ng)�� 2��(g��)��(d��)���ӟ����2�ת�(d��)���ؿ�ϵ�y(t��ng)�����ɳ������ؿ��ƣ����������O(sh��)���A��(sh��)���_(d��)10�A�� |
Ó��ض��� | �Ҝ�—400�棬����±1�棻���壺��ƷÓ��ϵ�y(t��ng)�O(sh��)�Ќ��T�������b�ã�����Чȥ����ƷÓ����ܓ]�l(f��)����ˮ�|(zh��)���s�|(zh��) |
���������� | ��Ʒ����վ����ԭ�b�M(j��n)�����ʽ��Ĥ�������������� ����≤0.15�����xֵ���� |
�։������� | P/Po ��(zh��n)�_�ɿط����_(d��)10-4-0.998 ���ɜy1000�c(di��n)���ϣ� |
���������� | ƽ�≺�����ܿ��Ʒ�����Ó�����ֲ�����������(y��u)���O(sh��)�ã����O(sh��)�����g������0.1-133KPa�����`���O(sh��)�ã�ȫ�Ԅ�(d��ng)���Ƽ��{(di��o)��(ji��)�� |
�yԇԭ����
���߲�JW-BK100A�� �ȱ��漰�������x�yԇԭ��
�o�B(t��i)���������͜ص��������������������w����
�yԇ�l����
���߲�JW-BK100A�� �ȱ��漰�������x�yԇ�l��
�h(hu��n)���ضȣ��Ҝ�20 - 25�棻
� Դ������220V±20V��50/60HZ�������300W�����5A ��
��?d��)⣺���ȵ��(d��)?ge;99.999%��
�a(ch��n)Ʒ��(y��u)��
1) ���ϵ�y(t��ng)��ǻ�w:��ͨ·��(li��n)�����ϵ�y(t��ng)��ǻ�wģ�K�������bʽ�O(sh��)Ӌ(j��)���oй©����ճ��ٿ��M(j��n)�����顢�����Ԅ�(d��ng)�ɿ��{(di��o)��(ji��)����Ч��ֹ���w�����w�R���x����(n��i)�����yԇϵ�y(t��ng)���ڶ̕r(sh��)�g��(n��i)�_(d��)����ߵ���նȣ�ԭ�b�M(j��n)�ڙC(j��)е��ձã��O����նȸ��_(d��)10-2Pa����ȫ�M��2nm-500nm��״���ֲ��ľ��_��������(j��ng)�^ԭ�b�M(j��n)��INFICON���|(zh��)�V�z©�x�z�(y��n)���z©�ʿ���10-13Pa*m3/s��
2) �����y:ȫ�M(j��n)��SMC�͜�늴��y���ƣ��ص�������늴��y���w�l(f��)���������Ĝy���`���Ч��߃x���Ĝyԇ���ȡ������h�x��ʹ�Ú��(d��ng)�y�����(d��ng)�y���w���Ĵ�����ͬ늴��y(li��n)��ʹ�òſ������_�����y�T�_�P(gu��n)����(y��ng)�����^�����^��̶ȕ�Ӱ푃x���Ĝyԇ����(zh��n)�ȡ�
3) �ضȜy��:���Ã�(y��u)�|(zh��)�ضȂ�������������ң���ܣ�ǻ�w��(n��i)���ض��M(j��n)�Ќ�(sh��)�r(sh��)����(zh��n)�_�����_�Ĝy�������ڲ��Ú��w��B(t��i)����PV=nRT�M(j��n)�К��w����Ó��������Ӌ(j��)��r(sh��)�c�Ԍ�(sh��)�r(sh��)��������ȫ�����˜ضȿ�������Ĝy���`��������˃x���Ĝyԇ���ȡ�
4) ���ɿ��g�y��:���ú�-���ú��M(j��n)�����ɿ��g�y�����ú����Ԅ�(d��ng)�y�����ɿ��g��ȫ���χ��H��(bi��o)��(zh��n)��ՓӋ(j��)�㣻Ҳ�ɲ��ú����M(j��n)�Мy�����c���H���M(j��n)�x��ˮƽ
5) ��?d��)��������?/span>P0�yԇ:���پ��ЃɷNP0�yԇ�������ɜ�(zh��n)�_�yԇ�������w���������ֵ��P0��(sh��)�r(sh��)�yԇ�������≺ݔ�뷨��ͬ���H���g(sh��)��܉��
6) Һ������ƾC�ϼ��g(sh��):�������������]�l(f��)�w��ܛ���a(b��)��?sh��)�Һ������ƾC�ϼ��g(sh��)��ͬ���H�����M(j��n)���g(sh��)��܉����ȫ�˷���Һ������������ȱ�c(di��n)��
7) �����w����ϵ�y(t��ng):��(n��i)��ʽ�����w��Ԫ����“�A��ʽ”���w�R������Ч��ֹ����(x��)�۳��w���x����(n��i)����·��Ч����ͬ�ڇ����“�^�V�Y”���g(sh��)��
8) Ó��ϵ�y(t��ng):ͬλ���Ó���(bi��o)��(zh��n)���O(sh��)Ӌ(j��)����2��(g��)Ó��վ���ӟ�Ó���^��ȫ�Ԅ�(d��ng)���ƣ��ɳ������ء�
9) ��(sh��)��(j��)�ɼ�ģ�K:���Ç��H���M(j��n)Ʒ�Ƹ߾��ȡ����ɶȔ�(sh��)��(j��)�ɼ�ģ�K����̫�W(w��ng)�ӿڣ��`��С�����ɔ_������(qi��ng)������ϡ�
��(y��ng)���I(l��ng)��
�������ϣ����������X�����ӺY����ʯ�ȣ�
�h(hu��n)���I(l��ng)����̿����������
�{�ײ��ϣ��{���մɷ��w�������X������䆡�����ᐡ������衢 ̼����ȣ����{���ٷ��w���y�ۡ��F�ۡ��~�ۡ��u�ۡ�懷� �ȣ����{�߷��Ӳ��ϡ�̼�{�ܵȣ�
ú�V�ИI(y��)��ú���Vʯ���rʯ��퓎r�⡢ú�Ӛ�ȣ�
�������ϣ�����(x��)�w�S��������(f��)�ϲ��ϵȡ�
�� �����a(ch��n)�Ãx�������аl(f��)�eؕ�I(xi��n)��(ji��ng)
�� ���¼��g(sh��)��I(y��)�C�������P(gu��n)����¼��g(sh��)��I(y��)�f(xi��)�����T�C��
�� �Ї��x���x��f(xi��)�����T�C��
�� ������(chu��ng)�½�(ji��ng)����I(y��)�\���C��
�� CE�C��
�� ���P(gu��n)�����������(chu��ng)��ʾ���^(q��)�¼��g(sh��)�®a(ch��n)Ʒ�C�������P(gu��n)����¼��g(sh��)��I(y��)�C��
�� ISO9001:2008�|(zh��)�������wϵ�J(r��n)�C�C��
�� �Ї�Ӌ(j��)���ƌW(xu��)�о�Ժ�yԇ�C��
�� �����C��
�������Q��һ�N��(bi��o)�����w�w�e���Ԅ�(d��ng)�ГQ�b�� �������Q��һ�N���ʽ���^ �������Q��һ�N����ƿ����̖��ZL 2012 2 0167116.0 ����̖��ZL 2012 2 0166665. 6 ����̖��ZL 2012 2 0166438.3
�������Q��һ�N���ͺ㶨Һ����߶ȵĘ�Ʒ�� �������Q��һ�N��ո����� �������Q��һ�N��?d��)�։��{(di��o)��(ji��)�b������̖��ZL 2011 2 0090124.5 ����̖��ZL 2012 2 0166437.9 ����̖�� ZL 2012 2 0167016.8
�������Q��һ�N�A��ʽ��(d��ng)�B(t��i)�������x �������Q�����^�O(sh��)Ӌ(j��)���� ����̖��ZL 2011 1 0079215.3 ����̖��ZL 2013 3 0617931.2
�� ܛ���a(ch��n)Ʒ��ӛ�C��
JW-DA ��(d��ng)�B(t��i)���ܻ��ȱ���yԇ�xܛ�� JW-BK �o�B(t��i)�������xܛ���� ܛ��������(qu��n)
�� ��(y��u)��a(ch��n)Ʒ��(ji��ng)
2010�ƌW(xu��)�x����(y��u)��a(ch��n)Ʒ�C�� �Ї����w�W(w��ng)��(y��u)��a(ch��n)Ʒ��(ji��ng)
�� �f(xi��)�����T�C��
�������w���g(sh��)�f(xi��)�� Ƹ�� �Ї����W(xu��)�c�����Դ�ИI(y��)�f(xi��)���C��
�Ї��w���W(xu��)���C�� �Ї������yԇ�f(xi��)�����T
�������w���g(sh��)�f(xi��)�������P(gu��n)ע�a(ch��n)Ʒ��(ji��ng)
�� ���̘�(bi��o)ע���C��
�������߲��ƌW(xu��)���g(sh��)����˾������2004�꣬��֪���IJ��ϿƌW(xu��)��犼�������I(l��ng)㕄�(chu��ng)���ġ����аl(f��)�����a(ch��n)���N����һ�w�ć��Ҽ����¼��g(sh��)��I(y��)���������L(f��ng)�������ı��������h(hu��n)�o(h��)�Ǻ��ϣ����Ϻ����V�ݵȵ��O(sh��)�зֹ�˾���k��̎�� ʮ�������犽��ڵĎ��I(l��ng)�£���˾������һ֧���в�ʿ���Tʿ��һ���������������M�ɵĶ��W(xu��)�ƽ���ļ��g(sh��)�(du��)�飬�F(tu��n)�Y(ji��)һ�£������M(j��n)ȡ��ʼ�K��(ji��n)����������(chu��ng)�µĵ�·���ڇ���(n��i)�����аl(f��)�ɹ���(d��ng)�B(t��i)ȫ�Ԅ�(d��ng)�ȱ���x��BET�ȱ���x���A�ݷ���(d��ng)�B(t��i)�ȱ���x���g��·�����������x���o�B(t��i)������������x���o�B(t��i)��վ�ȱ���y���x���������o�B(t��i)�����x�����w�����ܶȃx���߉������x�ȣ����u(y��)��“�Ї��������x���_����”�����҇��{���²��ϱ����c�yԇ�x���I(l��ng)����I(l��ng)���ߡ� JW������Ʒ���ѳɞ����(n��i)��֪��Ʒ�ƣ��Ñ��ѱ鼰ȫ��32��(g��)ʡ�У�����֪���ĸߵ�ԺУ���о�Ժ�������I(y��)��λ����JW�x����(sh��)��(j��)����Փ�İl(f��)���ڇ��H������(n��i)�ܶ�֪���s־������a(ch��n)�x��������H�_���˵�·��2011�꣬JW�a(ch��n)Ʒ�����������ƌW(xu��)�x��չ���ձ����wչ�������V���P(gu��n)ע���a(ch��n)Ʒ���h(yu��n)�N���⣬�����W�ޡ��ձ���������ӡ�ȡ�̩�����ɹš����r��ʮ����(g��)���ҡ� ���߲��Ѽ��g(sh��)����(w��)���ڃ�(y��u)�ȵđ�(zh��n)�Ե�λ���Ԅ�(chu��ng)����l(f��)չ��ҕ�|(zh��)�����������Կ͑�����鼺�Σ���ѭ“����ṩ��(y��u)�|(zh��)�a(ch��n)Ʒ����������(w��)”����ּ����(ji��n)�����u(y��)��һ����(ji��n)��(sh��)�����ǵĿƌW(xu��)����(ji��n)���Ñ�ؓ(f��)؟(z��)�ij��Z�����h(yu��n)���Ñ��Ҍ�(sh��)�ġ�����ه�����ѡ�
����(sh��)Ҏ(gu��)��
�yԇ������ | �o�B(t��i)���������͜ص��������������������w�� |
�yԇ���w�� | ���������䡢�塢봡�������̼������� |
�yԇ������ | 0.0005(m2/g)�������o����(�ȱ���e)��2nm-500nm(��������)��0.35nm-2nm( �׳�Ҏ(gu��)����)�����w�e0.0001cm3/g-���o���� |
�؏�(f��)������ | ≤± 1.0%���ȱ��棩��≤0.02nm����Ɏ��� |
�yԇЧ���� | �ȱ���eƽ��ÿ��15min����ס������ƽ��ÿ��2-3С�r(sh��)�� |
����վ�� | 2��(g��)����վ���pվ�����M(j��n)�Мyԇ�� |
P0λ�� | 2��(g��)����վԭλ�O(sh��)�Ъ�(d��)����P0�ܣ���2֧���ɆΪ�(d��)���M(j��n)�ډ������������ƣ��Ɍ�(sh��)�r(sh��)�z �y�������P0ֵ��Ҳ�ɑ�(y��ng)�ô�≺ݔ�뷨��(zh��n)�_�y��P0ֵ��ͬ���H���g(sh��)��܉�� |
����ϵ�y(t��ng)�� | ÿ��(g��)����վԭλ�O(sh��)�Ъ�(d��)��������ϵ�y(t��ng)����2�ף������ɔ_�� |
���ϵ�y(t��ng)�� | ����“����ʽԭ�b�M(j��n)���p����Ƭʽ�C(j��)е��ձ�”���O����նȸ��_(d��)10-2Pa�� �������h���Ã�(n��i)��ʽ�C(j��)е�ã�����C(j��)е�õ��L�r(sh��)�g����(d��ng)Ӱ표yԇ���ȣ�ͬ�r(sh��)������Ч�����L�x����ʹ�É����� |
��ձ��� | ԭ�b�M(j��n)�ڙC(j��)е��ձã��O�����6.7* 10-2Pa�� |
Ó��ϵ�y(t��ng)�� | ͬλ����λ���Ó����һ�w�Ę�(bi��o)��(zh��n)���O(sh��)Ӌ(j��)����Ʒ������ͬ�r(sh��)�������M(j��n)������2��(g��)��Ʒ��ͬ�ضȼ��r(sh��)�g�Į�λÓ��̎����2��(g��)����վ��ͬ�r(sh��)�M(j��n)��2��(g��)��Ʒ��ͬ�ضȼ��r(sh��)�g��ͬλÓ��̎��������(g��)Ó��ϵ�y(t��ng)�� 2��(g��)��(d��)���ӟ����2�ת�(d��)���ؿ�ϵ�y(t��ng)�����ɳ������ؿ��ƣ����������O(sh��)���A��(sh��)���_(d��)10�A�� |
Ó��ض��� | �Ҝ�—400�棬����±1�棻���壺��ƷÓ��ϵ�y(t��ng)�O(sh��)�Ќ��T�������b�ã�����Чȥ����ƷÓ����ܓ]�l(f��)����ˮ�|(zh��)���s�|(zh��) |
���������� | ��Ʒ����վ����ԭ�b�M(j��n)�����ʽ��Ĥ�������������� ����≤0.15�����xֵ���� |
�։������� | P/Po ��(zh��n)�_�ɿط����_(d��)10-4-0.998 ���ɜy1000�c(di��n)���ϣ� |
���������� | ƽ�≺�����ܿ��Ʒ�����Ó�����ֲ�����������(y��u)���O(sh��)�ã����O(sh��)�����g������0.1-133KPa�����`���O(sh��)�ã�ȫ�Ԅ�(d��ng)���Ƽ��{(di��o)��(ji��)�� |
�a(ch��n)Ʒ��(y��u)��
1) ���ϵ�y(t��ng)��ǻ�w:��ͨ·��(li��n)�����ϵ�y(t��ng)��ǻ�wģ�K�������bʽ�O(sh��)Ӌ(j��)���oй©����ճ��ٿ��M(j��n)�����顢�����Ԅ�(d��ng)�ɿ��{(di��o)��(ji��)����Ч��ֹ���w�����w�R���x����(n��i)�����yԇϵ�y(t��ng)���ڶ̕r(sh��)�g��(n��i)�_(d��)����ߵ���նȣ�ԭ�b�M(j��n)�ڙC(j��)е��ձã��O����նȸ��_(d��)10-2Pa����ȫ�M��2nm-500nm��״���ֲ��ľ��_��������(j��ng)�^ԭ�b�M(j��n)��INFICON���|(zh��)�V�z©�x�z�(y��n)���z©�ʿ���10-13Pa*m3/s��
2) �����y:ȫ�M(j��n)��SMC�͜�늴��y���ƣ��ص�������늴��y���w�l(f��)���������Ĝy���`���Ч��߃x���Ĝyԇ���ȡ������h�x��ʹ�Ú��(d��ng)�y�����(d��ng)�y���w���Ĵ�����ͬ늴��y(li��n)��ʹ�òſ������_�����y�T�_�P(gu��n)����(y��ng)�����^�����^��̶ȕ�Ӱ푃x���Ĝyԇ����(zh��n)�ȡ�
3) �ضȜy��:���Ã�(y��u)�|(zh��)�ضȂ�������������ң���ܣ�ǻ�w��(n��i)���ض��M(j��n)�Ќ�(sh��)�r(sh��)����(zh��n)�_�����_�Ĝy�������ڲ��Ú��w��B(t��i)����PV=nRT�M(j��n)�К��w����Ó��������Ӌ(j��)��r(sh��)�c�Ԍ�(sh��)�r(sh��)��������ȫ�����˜ضȿ�������Ĝy���`��������˃x���Ĝyԇ���ȡ�
4) ���ɿ��g�y��:���ú�-���ú��M(j��n)�����ɿ��g�y�����ú����Ԅ�(d��ng)�y�����ɿ��g��ȫ���χ��H��(bi��o)��(zh��n)��ՓӋ(j��)�㣻Ҳ�ɲ��ú����M(j��n)�Мy�����c���H���M(j��n)�x��ˮƽ
5) ��?d��)��������?/span>P0�yԇ:���پ��ЃɷNP0�yԇ�������ɜ�(zh��n)�_�yԇ�������w���������ֵ��P0��(sh��)�r(sh��)�yԇ�������≺ݔ�뷨��ͬ���H���g(sh��)��܉��
6) Һ������ƾC�ϼ��g(sh��):�������������]�l(f��)�w��ܛ���a(b��)��?sh��)�Һ������ƾC�ϼ��g(sh��)��ͬ���H�����M(j��n)���g(sh��)��܉����ȫ�˷���Һ������������ȱ�c(di��n)��
7) �����w����ϵ�y(t��ng):��(n��i)��ʽ�����w��Ԫ����“�A��ʽ”���w�R������Ч��ֹ����(x��)�۳��w���x����(n��i)����·��Ч����ͬ�ڇ����“�^�V�Y”���g(sh��)��
8) Ó��ϵ�y(t��ng):ͬλ���Ó���(bi��o)��(zh��n)���O(sh��)Ӌ(j��)����2��(g��)Ó��վ���ӟ�Ó���^��ȫ�Ԅ�(d��ng)���ƣ��ɳ������ء�
9) ��(sh��)��(j��)�ɼ�ģ�K:���Ç��H���M(j��n)Ʒ�Ƹ߾��ȡ����ɶȔ�(sh��)��(j��)�ɼ�ģ�K����̫�W(w��ng)�ӿڣ��`��С�����ɔ_������(qi��ng)������ϡ�
��(y��ng)���I(l��ng)��
�������ϣ����������X�����ӺY����ʯ�ȣ�
�h(hu��n)���I(l��ng)����̿����������
�{�ײ��ϣ��{���մɷ��w�������X������䆡�����ᐡ������衢 ̼����ȣ����{���ٷ��w���y�ۡ��F�ۡ��~�ۡ��u�ۡ�懷� �ȣ����{�߷��Ӳ��ϡ�̼�{�ܵȣ�
ú�V�ИI(y��)��ú���Vʯ���rʯ��퓎r�⡢ú�Ӛ�ȣ�
�������ϣ�����(x��)�w�S��������(f��)�ϲ��ϵȡ�
�� �����a(ch��n)�Ãx�������аl(f��)�eؕ�I(xi��n)��(ji��ng)
�� ���¼��g(sh��)��I(y��)�C�������P(gu��n)����¼��g(sh��)��I(y��)�f(xi��)�����T�C��
�� �Ї��x���x��f(xi��)�����T�C��
�� ������(chu��ng)�½�(ji��ng)����I(y��)�\���C��
�� CE�C��
�� ���P(gu��n)�����������(chu��ng)��ʾ���^(q��)�¼��g(sh��)�®a(ch��n)Ʒ�C�������P(gu��n)����¼��g(sh��)��I(y��)�C��
�� ISO9001:2008�|(zh��)�������wϵ�J(r��n)�C�C��
�� �Ї�Ӌ(j��)���ƌW(xu��)�о�Ժ�yԇ�C��
�� �����C��
�������Q��һ�N��(bi��o)�����w�w�e���Ԅ�(d��ng)�ГQ�b�� �������Q��һ�N���ʽ���^ �������Q��һ�N����ƿ����̖��ZL 2012 2 0167116.0 ����̖��ZL 2012 2 0166665. 6 ����̖��ZL 2012 2 0166438.3
�������Q��һ�N���ͺ㶨Һ����߶ȵĘ�Ʒ�� �������Q��һ�N��ո����� �������Q��һ�N��?d��)�։��{(di��o)��(ji��)�b������̖��ZL 2011 2 0090124.5 ����̖��ZL 2012 2 0166437.9 ����̖�� ZL 2012 2 0167016.8
�������Q��һ�N�A��ʽ��(d��ng)�B(t��i)�������x �������Q�����^�O(sh��)Ӌ(j��)���� ����̖��ZL 2011 1 0079215.3 ����̖��ZL 2013 3 0617931.2
�� ܛ���a(ch��n)Ʒ��ӛ�C��
JW-DA ��(d��ng)�B(t��i)���ܻ��ȱ���yԇ�xܛ�� JW-BK �o�B(t��i)�������xܛ���� ܛ��������(qu��n)
�� ��(y��u)��a(ch��n)Ʒ��(ji��ng)
2010�ƌW(xu��)�x����(y��u)��a(ch��n)Ʒ�C�� �Ї����w�W(w��ng)��(y��u)��a(ch��n)Ʒ��(ji��ng)
�� �f(xi��)�����T�C��
�������w���g(sh��)�f(xi��)�� Ƹ�� �Ї����W(xu��)�c�����Դ�ИI(y��)�f(xi��)���C��
�Ї��w���W(xu��)���C�� �Ї������yԇ�f(xi��)�����T
�������w���g(sh��)�f(xi��)�������P(gu��n)ע�a(ch��n)Ʒ��(ji��ng)
�� ���̘�(bi��o)ע���C��
�������߲��ƌW(xu��)���g(sh��)����˾������2004�꣬��֪���IJ��ϿƌW(xu��)��犼�������I(l��ng)㕄�(chu��ng)���ġ����аl(f��)�����a(ch��n)���N����һ�w�ć��Ҽ����¼��g(sh��)��I(y��)���������L(f��ng)�������ı��������h(hu��n)�o(h��)�Ǻ��ϣ����Ϻ����V�ݵȵ��O(sh��)�зֹ�˾���k��̎�� ʮ�������犽��ڵĎ��I(l��ng)�£���˾������һ֧���в�ʿ���Tʿ��һ���������������M�ɵĶ��W(xu��)�ƽ���ļ��g(sh��)�(du��)�飬�F(tu��n)�Y(ji��)һ�£������M(j��n)ȡ��ʼ�K��(ji��n)����������(chu��ng)�µĵ�·���ڇ���(n��i)�����аl(f��)�ɹ���(d��ng)�B(t��i)ȫ�Ԅ�(d��ng)�ȱ���x��BET�ȱ���x���A�ݷ���(d��ng)�B(t��i)�ȱ���x���g��·�����������x���o�B(t��i)������������x���o�B(t��i)��վ�ȱ���y���x���������o�B(t��i)�����x�����w�����ܶȃx���߉������x�ȣ����u(y��)��“�Ї��������x���_����”�����҇��{���²��ϱ����c�yԇ�x���I(l��ng)����I(l��ng)���ߡ� JW������Ʒ���ѳɞ����(n��i)��֪��Ʒ�ƣ��Ñ��ѱ鼰ȫ��32��(g��)ʡ�У�����֪���ĸߵ�ԺУ���о�Ժ�������I(y��)��λ����JW�x����(sh��)��(j��)����Փ�İl(f��)���ڇ��H������(n��i)�ܶ�֪���s־������a(ch��n)�x��������H�_���˵�·��2011�꣬JW�a(ch��n)Ʒ�����������ƌW(xu��)�x��չ���ձ����wչ�������V���P(gu��n)ע���a(ch��n)Ʒ���h(yu��n)�N���⣬�����W�ޡ��ձ���������ӡ�ȡ�̩�����ɹš����r��ʮ����(g��)���ҡ� ���߲��Ѽ��g(sh��)����(w��)���ڃ�(y��u)�ȵđ�(zh��n)�Ե�λ���Ԅ�(chu��ng)����l(f��)չ��ҕ�|(zh��)�����������Կ͑�����鼺�Σ���ѭ“����ṩ��(y��u)�|(zh��)�a(ch��n)Ʒ����������(w��)”����ּ����(ji��n)�����u(y��)��һ����(ji��n)��(sh��)�����ǵĿƌW(xu��)����(ji��n)���Ñ�ؓ(f��)؟(z��)�ij��Z�����h(yu��n)���Ñ��Ҍ�(sh��)�ġ�����ه�����ѡ�
1) ���ϵ�y(t��ng)��ǻ�w:��ͨ·��(li��n)�����ϵ�y(t��ng)��ǻ�wģ�K�������bʽ�O(sh��)Ӌ(j��)���oй©����ճ��ٿ��M(j��n)�����顢�����Ԅ�(d��ng)�ɿ��{(di��o)��(ji��)����Ч��ֹ���w�����w�R���x����(n��i)�����yԇϵ�y(t��ng)���ڶ̕r(sh��)�g��(n��i)�_(d��)����ߵ���նȣ�ԭ�b�M(j��n)�ڙC(j��)е��ձã��O����նȸ��_(d��)10-2Pa����ȫ�M��2nm-500nm��״���ֲ��ľ��_��������(j��ng)�^ԭ�b�M(j��n)��INFICON���|(zh��)�V�z©�x�z�(y��n)���z©�ʿ���10-13Pa*m3/s��
2) �����y:ȫ�M(j��n)��SMC�͜�늴��y���ƣ��ص�������늴��y���w�l(f��)���������Ĝy���`���Ч��߃x���Ĝyԇ���ȡ������h�x��ʹ�Ú��(d��ng)�y�����(d��ng)�y���w���Ĵ�����ͬ늴��y(li��n)��ʹ�òſ������_�����y�T�_�P(gu��n)����(y��ng)�����^�����^��̶ȕ�Ӱ푃x���Ĝyԇ����(zh��n)�ȡ�
3) �ضȜy��:���Ã�(y��u)�|(zh��)�ضȂ�������������ң���ܣ�ǻ�w��(n��i)���ض��M(j��n)�Ќ�(sh��)�r(sh��)����(zh��n)�_�����_�Ĝy�������ڲ��Ú��w��B(t��i)����PV=nRT�M(j��n)�К��w����Ó��������Ӌ(j��)��r(sh��)�c�Ԍ�(sh��)�r(sh��)��������ȫ�����˜ضȿ�������Ĝy���`��������˃x���Ĝyԇ���ȡ�
4) ���ɿ��g�y��:���ú�-���ú��M(j��n)�����ɿ��g�y�����ú����Ԅ�(d��ng)�y�����ɿ��g��ȫ���χ��H��(bi��o)��(zh��n)��ՓӋ(j��)�㣻Ҳ�ɲ��ú����M(j��n)�Мy�����c���H���M(j��n)�x��ˮƽ
5) ��?d��)��������?/span>P0�yԇ:���پ��ЃɷNP0�yԇ�������ɜ�(zh��n)�_�yԇ�������w���������ֵ��P0��(sh��)�r(sh��)�yԇ�������≺ݔ�뷨��ͬ���H���g(sh��)��܉��
6) Һ������ƾC�ϼ��g(sh��):�������������]�l(f��)�w��ܛ���a(b��)��?sh��)�Һ������ƾC�ϼ��g(sh��)��ͬ���H�����M(j��n)���g(sh��)��܉����ȫ�˷���Һ������������ȱ�c(di��n)��
7) �����w����ϵ�y(t��ng):��(n��i)��ʽ�����w��Ԫ����“�A��ʽ”���w�R������Ч��ֹ����(x��)�۳��w���x����(n��i)����·��Ч����ͬ�ڇ����“�^�V�Y”���g(sh��)��
8) Ó��ϵ�y(t��ng):ͬλ���Ó���(bi��o)��(zh��n)���O(sh��)Ӌ(j��)����2��(g��)Ó��վ���ӟ�Ó���^��ȫ�Ԅ�(d��ng)���ƣ��ɳ������ء�
9) ��(sh��)��(j��)�ɼ�ģ�K:���Ç��H���M(j��n)Ʒ�Ƹ߾��ȡ����ɶȔ�(sh��)��(j��)�ɼ�ģ�K����̫�W(w��ng)�ӿڣ��`��С�����ɔ_������(qi��ng)������ϡ�
��(y��ng)���I(l��ng)���������ϣ����������X�����ӺY����ʯ�ȣ�
�h(hu��n)���I(l��ng)����̿����������
�{�ײ��ϣ��{���մɷ��w�������X������䆡�����ᐡ������衢 ̼����ȣ����{���ٷ��w���y�ۡ��F�ۡ��~�ۡ��u�ۡ�懷� �ȣ����{�߷��Ӳ��ϡ�̼�{�ܵȣ�
ú�V�ИI(y��)��ú���Vʯ���rʯ��퓎r�⡢ú�Ӛ�ȣ�
�������ϣ�����(x��)�w�S��������(f��)�ϲ��ϵȡ�
���P(gu��n)�C��
�� �����a(ch��n)�Ãx�������аl(f��)�eؕ�I(xi��n)��(ji��ng)
�� ���¼��g(sh��)��I(y��)�C�������P(gu��n)����¼��g(sh��)��I(y��)�f(xi��)�����T�C��
�� �Ї��x���x��f(xi��)�����T�C��
�� ������(chu��ng)�½�(ji��ng)����I(y��)�\���C��
�� CE�C��
�� ���P(gu��n)�����������(chu��ng)��ʾ���^(q��)�¼��g(sh��)�®a(ch��n)Ʒ�C�������P(gu��n)����¼��g(sh��)��I(y��)�C��
�� ISO9001:2008�|(zh��)�������wϵ�J(r��n)�C�C��
�� �Ї�Ӌ(j��)���ƌW(xu��)�о�Ժ�yԇ�C��
�� �����C��
�������Q��һ�N��(bi��o)�����w�w�e���Ԅ�(d��ng)�ГQ�b�� �������Q��һ�N���ʽ���^ �������Q��һ�N����ƿ����̖��ZL 2012 2 0167116.0 ����̖��ZL 2012 2 0166665. 6 ����̖��ZL 2012 2 0166438.3
�������Q��һ�N���ͺ㶨Һ����߶ȵĘ�Ʒ�� �������Q��һ�N��ո����� �������Q��һ�N��?d��)�։��{(di��o)��(ji��)�b������̖��ZL 2011 2 0090124.5 ����̖��ZL 2012 2 0166437.9 ����̖�� ZL 2012 2 0167016.8
�������Q��һ�N�A��ʽ��(d��ng)�B(t��i)�������x �������Q�����^�O(sh��)Ӌ(j��)���� ����̖��ZL 2011 1 0079215.3 ����̖��ZL 2013 3 0617931.2
�� ܛ���a(ch��n)Ʒ��ӛ�C��
JW-DA ��(d��ng)�B(t��i)���ܻ��ȱ���yԇ�xܛ�� JW-BK �o�B(t��i)�������xܛ���� ܛ��������(qu��n)
�� ��(y��u)��a(ch��n)Ʒ��(ji��ng)
2010�ƌW(xu��)�x����(y��u)��a(ch��n)Ʒ�C�� �Ї����w�W(w��ng)��(y��u)��a(ch��n)Ʒ��(ji��ng)
�� �f(xi��)�����T�C��
�������w���g(sh��)�f(xi��)�� Ƹ�� �Ї����W(xu��)�c�����Դ�ИI(y��)�f(xi��)���C��
�Ї��w���W(xu��)���C�� �Ї������yԇ�f(xi��)�����T
�������w���g(sh��)�f(xi��)�������P(gu��n)ע�a(ch��n)Ʒ��(ji��ng)
�� ���̘�(bi��o)ע���C��
�������߲��ƌW(xu��)���g(sh��)����˾������2004�꣬��֪���IJ��ϿƌW(xu��)��犼�������I(l��ng)㕄�(chu��ng)���ġ����аl(f��)�����a(ch��n)���N����һ�w�ć��Ҽ����¼��g(sh��)��I(y��)���������L(f��ng)�������ı��������h(hu��n)�o(h��)�Ǻ��ϣ����Ϻ����V�ݵȵ��O(sh��)�зֹ�˾���k��̎�� ʮ�������犽��ڵĎ��I(l��ng)�£���˾������һ֧���в�ʿ���Tʿ��һ���������������M�ɵĶ��W(xu��)�ƽ���ļ��g(sh��)�(du��)�飬�F(tu��n)�Y(ji��)һ�£������M(j��n)ȡ��ʼ�K��(ji��n)����������(chu��ng)�µĵ�·���ڇ���(n��i)�����аl(f��)�ɹ���(d��ng)�B(t��i)ȫ�Ԅ�(d��ng)�ȱ���x��BET�ȱ���x���A�ݷ���(d��ng)�B(t��i)�ȱ���x���g��·�����������x���o�B(t��i)������������x���o�B(t��i)��վ�ȱ���y���x���������o�B(t��i)�����x�����w�����ܶȃx���߉������x�ȣ����u(y��)��“�Ї��������x���_����”�����҇��{���²��ϱ����c�yԇ�x���I(l��ng)����I(l��ng)���ߡ� JW������Ʒ���ѳɞ����(n��i)��֪��Ʒ�ƣ��Ñ��ѱ鼰ȫ��32��(g��)ʡ�У�����֪���ĸߵ�ԺУ���о�Ժ�������I(y��)��λ����JW�x����(sh��)��(j��)����Փ�İl(f��)���ڇ��H������(n��i)�ܶ�֪���s־������a(ch��n)�x��������H�_���˵�·��2011�꣬JW�a(ch��n)Ʒ�����������ƌW(xu��)�x��չ���ձ����wչ�������V���P(gu��n)ע���a(ch��n)Ʒ���h(yu��n)�N���⣬�����W�ޡ��ձ���������ӡ�ȡ�̩�����ɹš����r��ʮ����(g��)���ҡ� ���߲��Ѽ��g(sh��)����(w��)���ڃ�(y��u)�ȵđ�(zh��n)�Ե�λ���Ԅ�(chu��ng)����l(f��)չ��ҕ�|(zh��)�����������Կ͑�����鼺�Σ���ѭ“����ṩ��(y��u)�|(zh��)�a(ch��n)Ʒ����������(w��)”����ּ����(ji��n)�����u(y��)��һ����(ji��n)��(sh��)�����ǵĿƌW(xu��)����(ji��n)���Ñ�ؓ(f��)؟(z��)�ij��Z�����h(yu��n)���Ñ��Ҍ�(sh��)�ġ�����ه�����ѡ�
2004�꣬�ҹ�˾���a(ch��n)�ĵ�һ�_��(d��ng)�B(t��i)ɫ�V�����ٱȱ���y���xJW-04������(d��ng)�B(t��i)���ߙC(j��)��
2006�꣬�ҹ�˾���a(ch��n)�Ą�(d��ng)�B(t��i)ɫ�V��BET�ȱ���xJW-004�״�̤�����T���������m��2007�꣬����(n��i)��һ�_�o�B(t��i)�������ȱ��漰�������x�Q�����ҹ�˾������ͬ��̤�����T������̩����
2010�꣬犼��涭���L�����G�ῂ��(j��ng)���H���L�����r�Ñ���
����(w��)�wϵ��
��ǰ֧�֣�∴ �˽�͑ȱ���e���������yԇ�Č�(sh��)�H����∴ ����(j��)�͑��������]�m�ϵĮa(ch��n)Ʒ∴ �͑���Ʒ�����M(f��i)�yԇ∴ �yԇ�Y(ji��)���ķ����������͑�������ͬx���Ϝyԇ�ĽY(ji��)��������∴ �������Ϻ����O(sh��)�п͑��w�(y��n)���ģ����M(f��i)�ṩ�O(sh��)�䣬���͑��H�Բ������w����ͬ�x���ĜyԇЧ��∴ Ŀǰ�Ј��χ���(n��i)����Ҫ�ȱ���x���������x�a(ch��n)Ʒ�ı��^
��˾�W(w��ng)վ�ṩ��˾��B���a(ch��n)Ʒ��B�����g(sh��)���������g(sh��)�v������˾��(d��ng)�B(t��i)�ȃ�(n��i)�ݡ����߲���JWGB���S�r(sh��)�������Ĺ��R��
�ۺ�֧��
· ���߲����M(f��i)ؓ(f��)؟(z��)��؛���T�����I(y��)���g(sh��)���̎��F(xi��n)�����b�{(di��o)ԇ����ؓ(f��)؟(z��)�z�y�ˆT������Ӗ(x��n)��· ����(j��)�Ñ���،�(sh��)�H��r����������O(sh��)�䰲�b�F(xi��n)���ľ��wҪ���ԝM���N�O(sh��)��F(xi��n)���h(hu��n)��������
· �����O(sh��)�䰲�b�F(xi��n)���T��ضȡ���ȡ��O(sh��)���B��Ҫ����ṩ֧�ֺ�ָ��(d��o)��
· �a(ch��n)Ʒ������һ�꣬�����ڃ�(n��i)�����˞��`����֮Ӳ�����ϣ���(sh��)�����M(f��i)���Q�������ڃ�(n��i)���˞��`������(d��o)��Ӳ�����ϣ���ȡӲ���ɱ��M(f��i)�ã����^�����ڣ������������(sh��)�а��ɱ��r(ji��)��ȡ��
· �����ڃ�(n��i)�a(ch��n)Ʒ���˞��`����֮Ӳ�����ϣ���(j��ng)�p�����g(sh��)�ˆT�_�J(r��n)����F(xi��n)�����g(sh��)֧�ֵģ�ԭ�t���ڃɂ�(g��)�����Ճ�(n��i)�� �ҷ����ż��g(sh��)�ˆTǰ���F(xi��n)���ų����ϡ�
· ���Ñ����M(f��i)�ṩܛ����������(w��)�����(xi��ng)����(w��)���ܱ��������ơ�
· һ����ܛӲ�����ϼ����P(gu��n)��Ʒ�z�y���g(sh��)���}����(sh��)������]����7x8С�r(sh��)�Ԓ��ͨ��ҕ�l���g(sh��)������
· ���ڬF(xi��n)���o����Q��Ӳ�����ϣ���Ҫ�r(sh��)���M(f��i)�ṩ���ÙC(j��)�����C�͑��yԇ�������Дࡣ
· �������e�k���w�yԇ������v������B��(sh��)�õęz�y���g(sh��)�����¼��g(sh��)�M(j��n)չ���c�Ñ������x����ʹ�÷������S���c���B(y��ng)�������yԇԭ���ȃ�(n��i)�ݣ��ӏ�(qi��ng)�c�Ñ�֮�g��(li��n)ϵ��
· ���ڃx���O(sh��)��У��(zh��n)����(bi��o)�����g(sh��)ָ��(d��o)��
· ���ڃx��ʹ�à�r���L��ᘌ��Ñ���ʹ�÷������z�y��(sh��)��(j��)���ṩ�x���O(sh��)�����_�������S�o(h��)�Ľ��x��
· ��ÿ��(g��)�͑��ăx����B(t��i)��ʹ����r���ۺ���Ԕ��(x��)�ķ���(w��)�n�����M(j��n)�и�ۙ����(w��)���Ա��C�͑�x�����L�ڡ���(w��n)���������\(y��n)�D(zhu��n)��
· ��˾�W(w��ng)վ�ṩ��˾��B���a(ch��n)Ʒ��B�����g(sh��)���������g(sh��)�v������˾��(d��ng)�B(t��i)�ȃ�(n��i)�ݡ�
��(j��ng)�N�̷���(w��)
�������߲��Ƽ�����O�߸��������ԃr(ji��)�ȡ�Խ�Ŀ͑�����(w��)����(y��u)�|(zh��)�ľ��܃x������ʢ�u(y��)�����\ϣ���c�Ќ�(sh��)���Ľ�(j��ng)�N���_(d��)�ɺ�����
1. ���Ƶ���ǰ���g(sh��)֧�ַ���(w��)�������a(ch��n)ƷԔ��(x��)��B����(j��ng)�N���N���ˆT���g(sh��)��Ӗ(x��n)��������Ҫ���ṩ�c��K�͑��ļ��g(sh��)��֧ͨ�֣����߲��Ƽ���˾��(ji��n)�ֹ��Aԭ�t���v�����u(y��)���gӭ�V��(j��ng)�N�̼��ˡ�
2. �齛(j��ng)�N�̸���(bi��o)�ṩ���ƵĮa(ch��n)Ʒ���g(sh��)ָ��(bi��o)�Y�ϣ��S�r(sh��)���(bi��o)�^���еļ��g(sh��)���}�������C�ṩ�и������ăr(ji��)��
3. �ɿ��Įa(ch��n)Ʒ�|(zh��)�������r(sh��)�Įa(ch��n)Ʒ���������Ƶ��ۺ����(w��)�_����(j��ng)�N�̺�o�n��
4. �ۺ�Įa(ch��n)Ʒ�аl(f��)��(sh��)�����a(ch��n)Ʒ������ꐳ��£��齛(j��ng)�N���ṩ����ĺ����C(j��)����
ȫ�Ԅ�(d��ng)�����x���c(di��n)
A.�����x���ϵ�y(t��ng)
1����(d��)��(chu��ng)��һ�w�����bʽ��·ϵ�y(t��ng),�����M(j��n)�ڼ��b��·,�@���p�ٹ�·�B���c(di��n),���©����,��ߘO����ն�;
2��ģ�K���Y(ji��)��(g��u)�O(sh��)Ӌ(j��),һ�wʽ���b��·,���˹��M(j��n)���B�ӵIJ�����,�����ڸ���(j��)�Ñ����������ü����ڹ��ܔU(ku��)չ,�����ھS���Q;
3�����õ�ԭ�b�M(j��n)�ڵ���ձúͷ��ӱ�,����С,�\(y��n)�з�(w��n)��,���ͷ�����,�O����նȸ�,���_(d��)4x10-2Pa��3x10-4Torr��,���ӱã���5x10��6Pa.
B.�����x����ϵ�y(t��ng)
1�����ÏV����(y��ng)���ڹ��I(y��)����ϵ�y(t��ng)�еĿɾ��̿�����늴��y����ϵ�y(t��ng),���ɔ_������(qi��ng),��(w��n)���Դ�����,���b����ж���dz�����;
2����(d��)���O(sh��)Ӌ(j��)�Ĝyԇϵ�y(t��ng)��·�͘�Ʒ̎����·���x�Y(ji��)��(g��u),��ֹ��Ʒ̎���^���Юa(ch��n)�����s�|(zh��)���yԇ��·����Ⱦ.
C.�����x��ߜyԇ���ȴ�ʩ
1�������cͬ��M(j��n)�ڮa(ch��n)Ʒ��ͬƷ�Ƶĸ߾��ȹ象Ĥ����������,�����y�����Ȟ�����(y��ng)�x��(sh��)��0.15��,�h(yu��n)�h(yu��n)��(y��u)��0.15����ȫ���̾��ȣ�FS��������;
2���c����ͬa(ch��n)Ʒ���,����0��1Torr��0��1000Torr�p����������,���yԇ������(n��i)�ĉ������÷ֶΜy��,����˵�����µĜy���`��,0��1Torr�Ĺ象Ĥ���������������h(yu��n)������ͬ���̵�Ƥ����������Ӌ(j��)��һ���`���10%-15����;
3����(d��)��(chu��ng)��һ�w�����bʽ��·ϵ�y(t��ng),�����M(j��n)�ڼ��b��·,�@���p�ٹ�·�B���c(di��n),���p�����w�e���g,�����ڽ��͜y���`��;
4����(d��)��(chu��ng)�IJ��M(j��n)ʽҺ�������ϵ�y(t��ng),�_���yԇȫ��Һ����������Ʒ��λ�ñ��ֲ�׃,���������w�e׃������Ĝy���`��;
5����(d��)���O(sh��)Ӌ(j��)�ij�⼰�M(j��n)�����ϵ�y(t��ng),��ֹ��Ʒ����պ��M(j��n)���^���е��w�R,�_���yԇ��·���坍�͘�Ʒ�|(zh��)���o�pʧ,���o(h��)�߾��ȉ������������܉�����׃���܌�(d��o)�µ����c(di��n)�;���Ư��.
D.�����x��(sh��)��(j��)�ɼ���̎��
1�����ø߾��ȼ����ɶȔ�(sh��)��(j��)�ɼ�ģ�K,�B�ӷ���,�`��С,���ɔ_����;���ØI(y��)���(bi��o)��(zh��n)��485ͨӍģʽ,�������O(sh��)��U(ku��)չ�ͻ��B,�ɷ����D(zhu��n)�Q�������RS232��USBͨӍģʽ;
2����N��ՓӋ(j��)��ģ�͔�(sh��)��(j��)����,���Ñ��ṩ�IJ��Ϸ�������;��(qi��ng)��Ĝyԇ��(sh��)��(j��)�w�n����,��ԃϵ�y(t��ng),�������Ñ���(sh��)��(j��)����.
BSD-PS1/2/4�o�B(t��i)������ �ȱ���e����������x
�a(ch��n)Ʒ������
�� ����2/4��(g��)��Ʒ�A(y��)̎��Ó��վ��
�� 1/2/4��(g��)��Ʒ����վ��
�� �yԇ���ȸߡ��جF(xi��n)�Ժá�
�� �؏�(f��)���`��С��±1%��
�� �yԇ�������ȱ���0.0005m2/g���ϣ��ף�0.35-2nm����ף�2-50nm����ף�50-500nm����Ʒ��ͣ���ĩ���w�����w�S��Ƭ����ϵȿ��b���Ʒ�ܵIJ��ϡ�
��Ҫ���� Main Function
�� �o�B(t��i)���������w������
�� �ȱ���e����������
���g(sh��)����(sh��) / Technical Parameter
�� �yԇ���ܣ��ȱ���e���Y(ji��)��(g��u)���������w���������u�r(ji��);
�� �����|(zh��)�N����N�Ǹ��g�Ԛ��w�yԇ;
�� �yԇ�������ȱ���e0.0005�O/g���ϣ���0.35-500nm;
�� �����(sh��)����1/2/4��(g��)�����
�� Ó��վ��(sh��)����2/4��(g��)�A(y��)̎��վ���x��
�� ��(d��)���ԣ��yԇϵ�y(t��ng)��Ó��ϵ�y(t��ng)���(d��)������Ʒ�Ĝyԇ�^�̺�Ó��̎����ͬ�r(sh��)�M(j��n)�У�
�� �yԇ���ȣ��ȱ���e≤±1.0%���Ɏ��؏�(f��)ƫ��≤0.15nm�����ܶ� ≤±0.04%�������e≤±1.5;
�� ��(d��)��P0վ�����������g(sh��)�Ī�(d��)���������������(P0)�yԇվ�����C�։��yԇ�ĸߜ�(zh��n)�_��;
�� ��������Ó�⣺ܛ�����Ƴ������أ��Ҝ�-400�棬���ȃ�(y��u)��0.1�棻
�� ����գ�
PSϵ�У�ԭ�b�M(j��n)��(Atlas copco��ԭӢ���۵��A)�p�C(j��)е��ձã���ն�4*10-2 Pa;
�� �����y����
PSϵ�У�ÿ��(g��)�yԇλ��1֧ 0-1000 torrԭ�b�M(j��n)�ډ���������;
���g(sh��)��(y��u)�� Technical Advantages
�� �u�����mԭ���ķ���Ⱦ�����g(sh��)��������
�� ģ�K���Ě�·ϵ�y(t��ng)�O(sh��)Ӌ(j��)��
�� ����y��늴��y�M�ϑ�(y��ng)�ü��g(sh��)��������l(f��)�ᣩ��
�� ���P����� P0��������
�� Һ�����Ԅ�(d��ng)���w����������������
�� ܛ��֧���A(y��)�s���r(sh��)Ó�⣻