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G5U-PH/S5U-PH手機激光干涉儀上海乾曜光學科技有限公司

 詳細介紹
G5U-PH 激光干涉儀     S5U-PH與G5U-PH激光干涉儀為3D屏及全面屏攝像孔檢測而定制，可以滿足更大的透過波前PV值的測量。其中S5U-PH為低成本版本，采用半導體激光器替代昂貴的進口He-Ne激光器，且不標配氣浮平臺。

一、儀器規格參數

    G5U-PH激光干涉儀是G10U-PH的高分辨率升級版，為3D屏及全面屏攝像孔檢測而定制，可以滿足更大的透過波前PV值的測量。

儀器規格參數表

硬件部分：

產品型號

G5U-PH

產品名稱

5mm正立式激光干涉儀

測試口徑

Φ5mm

輔助對準口徑

Φ30mm

標準鏡面形精度

λ/20

光源

進口He-Ne激光器（632.8nm)

光路切換

輔助觀察（Φ30mm大視場）與測試（Φ5mm小視場）模式電控切換

電源

AC220V50HZ

軟件部分：

軟件名稱

移相算法（簡稱PH）

分析項目

透過波前PV值、平行度Tilt值等

測試重復性

PV：0.01λ   RMS:0.003λ

測試允許誤差

PV<1λ時    PV：0.05λ   Tilt：0.2fr（零場調整為1根條紋）

1λ<PV<2λ時  PV：0.1λ   Tilt：0.5fr（零場調整為1根條紋）

2λ<PV<3λ時  PV：0.2λ   Tilt：1fr（零場調整為1根條紋）

測試時間

1.5~2秒
S5U-PH與G5U-PH激光干涉儀為3D屏及全面屏攝像孔檢測而定制，可以滿足更大的透過波前PV值的測量。其中S5U-PH為低成本版本，采用半導體激光器替代昂貴的進口He-Ne激光器，且不標配氣浮平臺。
儀器規格參數表
硬件部分：
產品型號
S5U-PH
產品名稱
5mm正立式激光干涉儀
測試口徑
Φ5mm
輔助對準口徑
Φ30mm
標準鏡面形精度
λ/20
光源
進口半導體激光器（635nm)
光路切換
輔助觀察（Φ30mm大視場）與測試（Φ5mm小視場）模式電控切換
電源
AC220V50HZ
軟件部分：
軟件名稱
移相算法（簡稱PH）
分析項目
透過波前PV值、平行度Tilt值等
測試重復性
PV：0.01λ   RMS:0.003λ
測試允許誤差
PV<1λ時    PV：0.05λ   Tilt：0.2fr（零場調整為1根條紋）
1λ<PV<2λ時 PV：0.1λ   Tilt：0.5fr（零場調整為1根條紋）
測試時間
1.5~2秒
操作方式：1、G5U-PH干涉儀包括干涉儀主機、控制箱（集成了圖像采集與移相控制功能）、移相器、透射標準鏡、待測樣品測試工裝、反射標準鏡、俯仰調整架及監視器。2、參照圖2將干涉儀、移相器、控制箱、監視器與計算機建立連接。

3、將透射標準鏡與反射標準鏡分別安裝在移相器及機架上的俯仰調整架上，如圖1所示。

4、將“對準/測試切換開關”切換到“對準”模式，將透射標準鏡及反射標準鏡反射回的光點調節到十字叉絲中心并重合；切換到“測試”模式，將背景干涉條紋調節至零場（條紋數接近0）。

5、將待檢樣品插入兩個標準鏡之間的干涉腔內。此時的干涉條紋的數目就代表了樣品前后表面的平行度，條紋的彎曲或不規則程度就表征了樣品的透過波前。乾曜光學可以給客戶定制各種測試檢具，保證檢測過程的效率。下圖所示，是分別為前置與后置攝像頭檢測設計的檢具：

        
圖3、測試治具
1、S5U-PH干涉儀包括干涉儀主機、控制箱（集成了圖像采集與移相控制功能）、移相器、透射標準鏡、待測樣品測試工裝、反射標準鏡、俯仰調整架及監視器。2、參照圖2將干涉儀、移相器、控制箱、監視器與計算機建立連接。
3、將透射標準鏡與反射標準鏡分別安裝在移相器及機架上的俯仰調整架上，如圖1所示。
4、將“對準/測試切換開關”切換到“對準”模式，將透射標準鏡及反射標準鏡反射回的光點調節到十字叉絲中心并重合；切換到“測試”模式，將背景干涉條紋調節至零場（條紋數接近0）。
5、將待檢樣品插入兩個標準鏡之間的干涉腔內。此時的干涉條紋的數目就代表了樣品前后表面的平行度，條紋的彎曲或不規則程度就表征了樣品的透過波前。乾曜光學可以給客戶定制各種測試檢具，保證檢測過程的效率。     
該公司產品分類： 激光干涉儀

AK-40廠價直銷激光干涉儀，便攜式干涉儀，高精度激光干涉儀，優質激光干涉儀AK-40

配置方式
立式、臥式配置 平面總成，球面總成 靜態測量，相位移調制測量
附件
標準平面和球面參照鏡 與ZYGOTM參照鏡相容 標準衰鏡 干涉儀支撐/調整用四腳座 水平五軸調整座
IntelliWave TM分析
Windows XP系統 干涉條紋靜態與相位移調制分析 完整的分析工具，包括統計資料、像差 繞射分析、影像加工、以及幾何影像轉換 干涉圖轉換成光學（OPD）或表面地圖（surface map） 自動反復測量或自動化分析功能 相互連接Lab VIEW 、Research Systems IDL 、Math Work、Matlab和Microsoft Excel軟件 1  蜂谷值（PV ，Peak-to-Valley） 是取得長度上，測量高度最高點與最低點間的距離 2  均方根值（RMS，Root-Mean-Square）是取樣長度上，距離高度中心線的均方根偏差值。 3  三平面檢定方（3-Flat Test ）最使用三個平面參照鏡相互檢測的測量方式。 4  重復性（Repeatability）的定義：對相同的組件進行100次量測，而每組量數據是由20個數據平均后取得，100組測數據統計分析，定義重復性即是一個標準差值。
型號 AK-40 Fizeau type
激光光源
波長/ 功率 He-Ne ,632.8nm , 0.7mw
測量光束直徑 15英寸（38mm）
偏振性 圓偏振動（Circular Polarization）
相干長度 ＞100公尺
控制方式
觀察調整 4On/off 開關
變焦 旋轉度盤
對焦調整 旋轉鈕
光強調整 旋轉鈕
模式切換 手動切換
光 學 部 分
變焦范圍 1X—6X
對準調整 二點調整
觀察調整角 ±1.8度
預熱時間 ＜ 30分鐘
視頻規格
攝像機 RS170， 640X480像素
顯示器 計算機含LCD屏幕或視頻監視器
電氣部份
電 源 110/240 Volts ,50/60Hz （50 watts）
機械部份
尺寸 120*120*250mm
重量 6 kg
測量性能（應用 IntelliWAare TM軟件量結果）
系統準確度（三平面檢定法）（3） λ/100 , 峰谷值（1）
峰谷值重復性（4）（PV Repeatability） λ/3 00 , 峰谷值（1）
均方值重復性能（2）（4）（RMS Repeatability） λ/2,000
干涉條紋解像度（Fringe Resolution ） 180條

該公司產品分類： 測量軟件 數顯表 光柵尺 干涉儀 刀具預調儀 工具顯微鏡 測量投影儀 影像測量儀 三坐標測量機

雷尼紹激光干涉儀

 
全新XR20-W系統顯著提高回轉軸校準的靈活性和便利性 
雷尼紹在2011歐洲機床展 (EMO 2011) 上推出了XR20-W，它是雷尼紹技術成熟的RX10回轉軸校準裝置的全新替代產品。在過去15年中，RX10是公認的對回轉軸進行高精度和高重復性性能評估的強大工具。XR20-W經過全新設計，具有靈活性強、使用方便、測量速度快及完全無線操作等優點。
 XR20-W無線型回轉軸校準裝置集雷尼紹獨有的先進軸承和光柵技術以及藍牙(Bluetooth?)無線技術等特點于一體。與現有的RX10相比，雷尼紹XR20-W更為小巧輕便。它的重量僅1公斤多點，在使用便利性和靈活性方面具有極大的優勢。分開提供的安裝座使定心與安裝操作簡單快捷，而隨主裝置一起提供的連接件使其能夠安裝在各種轉臺和軸上，包括車床卡盤和主軸。XR20-W回轉軸校準裝置包括“內置”反射鏡，反射鏡殼體的背面另帶有準直光靶。這些特性確保設定速度更快，并大大降低準直誤差和由此導致的測量誤差。新裝置由充電電池供電。充電電池與藍牙技術相結合，實現了完全無線操作。全新的軟件(組件的一部分)是系統使用方便和測試速度快的最終關鍵因素。它使測試設定和數據采集速度更快。軟件采用全新的界面、分析曲線、以及針對常見的ISO和ASME標準測試預設模板及簡潔的屏幕選項。此外，還提供自動校準摂功能。因此，即使是新用戶也能很快熟悉并使用軟件。
 XR20-W組件存放在一個堅固的Peli?便攜箱中，箱子中還為最常用的附件預留了空間。即使包括便攜箱在內，整個系統的總重量也不到7公斤，攜帶十分方便。系統的測量精度為1角秒，所有裝置在發貨前均已全面校準并經過認證。
目前，XR20-W回轉軸校準裝置與雷尼紹XL-80激光干涉儀兼容。很快還將推出采用USB接口的雷尼紹ML10激光干涉儀兼容的款型(現有XR20-W用戶可享受免費升級，早期PCM10/20或PC10接口需先升級到USB接口)。
 盡管XR20-W具有諸多新優點，但是其價格與現有RX10系統相比變化不大;此外，現有RX10用戶可以極具競爭力的價格享受升級優惠服務，這對那些準備花錢重新校準現有RX10回轉軸校準裝置的用戶來說更具吸引力。服務供應商也將從可能增長的利潤中獲益，新裝置小巧輕便，因此運輸方便，并可節省運費，同時使用靈活、測量速度快的特點意味著它可以更快地檢測更多不同配置的機床。
最終用戶也將從系統提供的便利性和靈活性中獲益，這將堅定他們購買產品的決心。
背景
在加工和隨后的序后工件檢測之前測定機床的能力，可大大降低廢品率和機床停機時間，從而降低生產成本。
 
使用XR20-W回轉軸校準裝置及早進行誤差檢測，能夠使機床發揮最佳性能，為后續加工過程奠定基礎。此外，這些信息還可用于建立性能趨勢曲線并有效制定維護與維修計劃。
 
隨著得到廣泛認可的質量體系標準，如ISO 9000使用的日益普及以及“六西格瑪”計劃實施的迅速發展，定義并測量決定生產過程能力的要素已成為一種必然。與雷尼紹的其他測量和校驗解決方案(XL-80激光干涉儀、QC20-W無線球桿儀和AxiSet Check-Up回轉軸心線檢查工具)一樣，XR20-W也為這些需求提供了實用的解決方案。
 
隨著數以千計的此類產品(和之前的產品)被全球的機床制造商、經銷商、最終用戶、服務與維修企業廣泛使用，雷尼紹承諾將繼續支持并擴大所提供的產品與服務，確保不斷擴大在該領域的領導地位。
 
該公司產品分類： renishaw 雷尼紹讀數頭 雷尼紹激光干涉儀 雷尼紹光柵尺

SJ6000激光干涉儀

一、產品簡介

SJ6000采用高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術、高精度環境補償模塊、 幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術，實現各種參數的高精度測量。通過激光熱穩頻控制技術，實現快速(5~10 分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然后通過高精度激光 干涉信號處理系統得到干涉數據，將數據通過計算機進行顯示和動態分析。

使用時，操作者先按照設計的幾何光路安裝相配合的鏡組，幾何光路是以邁克爾遜型激光干涉儀原理為基礎設計的，下圖是邁克爾遜干涉儀的基本原理圖：

邁克爾遜干涉儀的原理是一束入射光分為兩束后各自被對應的平面鏡反射回來，這兩束光從而能 夠發生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過調整干涉臂長度以及改變介質的折射率來實現，從而形成不同的干涉圖樣。干涉條紋是等光程差點的軌跡，因此，要 分析某種干涉產生的圖樣，必求出相干光的光程差位置分布函數。

搭建好幾何光路后，在檢定軟件上設定測量的開始、結束位置，點擊“開始”按鈕，軟件界面會實時顯示測量所得動態數據；掃描結束后，操作者可通過對測量所得 數據曲線進行分析，得到如長度、角度、直線度、垂直度、平面度等參數。并根據系統內置的檢測標準對被測件的各項參數進行合格判定，檢測結束后自動生成檢定 結果。

二、特點優勢三、技術參數
1       線性測長距離 40m          
2 線性測長精度 ±（0.02+0.5L）um
3 激光穩頻精度 0.05ppm
4 分辨率 0.001um
5 *大測量速度 4.0m/S
6 動態采集頻率 50KHZ
7 預熱時間 5~10分鐘
8 環境補償精度

空氣壓力：±1.0mBar，

空氣濕度：±6%，

材料溫度：±0.1℃
9 基本重量(含三腳架，包裝) 15Kg
該公司產品分類： 粗糙度輪廓儀 晶圓形貌測量系統 測長機 臺階儀 圖像尺寸測量儀 晶圓形貌測量系統 半導體業檢測設備 顯微尺寸測量儀 測長機 一鍵閃測儀 光學影像測量儀 二次元影像測量儀 機床測頭 在機測量系統 激光測長機 光柵測長機 三坐標測量機 激光干涉儀 激光跟蹤儀 激光測量儀

F-YPGS3060激光干涉儀-物理光學教學儀器-物理實驗-干涉儀

 

He-Ne激光器的穩頻。線偏振光、圓偏振光、晶體雙折射，1/4波片、1/2波片。偏振光的分解與合成。邁克爾遜干涉儀，壓電效應，偏振分光棱鏡，角錐棱鏡。圓偏振光干涉，干涉信號的拾取與處理。微小位移的精密測量。

擴展內容：

配套軟件，可以實時快捷的對測量結果進行數據處理。步進電機驅動的電動位移臺可以模擬大位移量測量、二次開發專用附件可以實現直線性、平面度、角度、垂直度等幾何量的測量。

該公司產品分類： 法拉第效應 光學儀器 光電與光伏技術 激光全息技術 激光測量與干涉儀 近代光學 光纖光學與信號傳輸 激光原理及應用 傅立葉光學 基礎光學

Agilent 5529A雙頻激光干涉儀

產品簡介

隨著精密機械零件的要求在繼續增加，Agilent 5529A動態校準系統能幫助機床用戶獲得成功。Agilent 5529A為機床制造商和用戶提供測量機床定位和精度的基本部件；用經補償的數據校準機床的定位誤差；診斷幾何形狀問題；以及符合7種國際標準的機床性能文檔。

您可用Agilent 5529A選擇全套校準部件，包括激光源、校準器和材料補償板、材料和空氣傳感器、光纖套件、電纜和附件。您也可選擇3種預配置系統（不包括光纖）。

Agilent 5529B基本系統：包括激光源、校準器和材料補償板、材料和空氣傳感器、電纜和附件。

Agilent 5529V Vectra系統：包括校準器和材料補償板、HP Vectra PC和super VGA顯示。

Agilent 5529U升級系統：包括校準器和材料補償板、適配器電纜，您能從Agilent 5528A升級到Agilent 5529A。

特性：

l    專利Agilent激光管設計，性MTBF大于 50,000 小時

l    用戶友好的Windows軟件

l    文檔使用8種語言：英語、法語、德語、意大利語、日語、西班牙語，以及簡體和繁體漢語

l    符合7種國際標準： NMTBA, BDI/DGQ 3441, ANSI B5.54, BSI 3800, ESO 230-2, JIS, 和 GB 10931-89

l    在線幫助

如果需要詳細的資料請發Email：xie_feng79@163.com

ML10 Gold激光干涉儀

儀器介紹     ML10 Gold 高性能激光干涉儀是機床、三坐標測量機及其它定位裝置精度校準 用的高性能儀器。由于采用了獨特的專利設計及的光電子技術，使ML10 Gold 激光干涉儀比市場上其它型號的激光干涉儀具有更高的性能和更的任選功能。 ML10 Gold 激光干涉儀提供有進行機器位置、幾何精度測量的全套光學器件。 ML10 Gold 激光測量系統所有功能都設計與Laser 10 軟件配合使用。除了測 量和分析診斷功能外，此軟件包的標準配置還包括動態測量、旋轉軸測量、雙軸測 量和電子水平儀及千分表程序接口模塊。 該激光干涉儀系統由激光頭ML10 Gold、環境監測補償器EC10，計算機接口卡 PC10* 或PCM20* 及高精度的光學器件組成。全部器件放在一個配小車的提箱內， 一人便可攜帶全部系統赴異地進行機器精度檢定，大大改善了激光干涉儀的便攜 性。 該激光干涉儀系統通過接口與IBM 兼容的PC 機（包括筆記本計算機）連接， 在靈活、直觀的軟件控制下進行自動測量，既節省了測量時間，又避免了人為誤 差，并能按國際上通行的標準進行數據分析處理，如ISO230-2、JIS-B6330、 VDI3441、VDI2617、ASME B89等并適用中國國家標準GB17421-2000等，以便于按 不同標準進行機床精度的評定和比較。 技術參數     1.線性測量分辨率: 0.001μm2.線性測量范圍： 40m（或任選80m）3.線性測量精度: ±0.7ppm4.測量速度： 60m/min5.穩頻精度： ±0.05ppm  

雙頻激光干涉儀ZLM700

產品功能     定位精度、重復定位精度、位移距離測量、速度加速度測量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動角、角速度、圓形軌跡、微振動測量，還能夠測量數控機床回轉臺的定位精度和重復定位精度等，從而實現定位、校準、控制和補償。ZLM700主要用于單軸系統的校準和測量，廣泛應用于高速動態加工工藝中的機械定位和系統控制。性能優勢

l          真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”的區別。眾所周知雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩定。世界范圍內只有兩家雙頻激光干涉儀的生產商，德國耶拿爾公司是其中的一家。
l          全部部件皆在德國生產制造，絕非為了降低成本而在第三方國家進行部件加工。光學組件全部采用蔡司光學鏡，是世界上一家將的蔡司光學鏡用于激光干涉儀領域的產品制造商。
l          測量系統采用模塊化設計，各種測量功能之間互不影響。若用戶先期只需要干涉儀的部分功能（如僅測量直線度），則僅采購所需功能部分的光學部件（直線度光學鏡），其他不需要的功能暫時可以不采購；若后期有其他功能的需求，補充采購功能對應的部件即可。
l          激光器壽命更長，可達20000小時，激光穩頻精度高，一小時內為±0.002ppm，在產品壽命內可達±0.02ppm。
l          干涉鏡采用差分干涉原理，系統精度更高，可達±0.4ppm。
l          計算機輔助光路調整，調整結果更。
l          采樣頻率更快，達1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。
l          被測物體最大速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數據處理器，分辨率達0.6nm（當移動速度為1m/s時，線性分辨率更可高達為0.1nm）。
l          無加速度限制；當光線微弱時，性能也十分穩定。
l          信號延時<200ns；對電磁干擾不敏感。
l          對于多軸聯動的復雜光路測量和微位移測量，請選用ZLM800型雙頻激光干涉儀，最多可實現六軸聯動。
工作原理
專利型ZLM700激光干涉儀使用氦氖激光器，采用雙頻外差式工作模式。激光穩頻精度為+/-0.002ppm，640MHz的頻差用于信號處理。這種高頻處理信號能夠對高速物體進行測量，不會出現干擾誤差，信號延時時間極短。
采用光纖電纜，把來自干涉鏡的信號傳輸到計算機卡槽連接的電子計數器上，避免了外部電磁環境對測量信號的干擾。因此，ZLM700雙頻激光干涉儀特別適用于惡劣的生產環境、標準化實驗室和高真空環境。

技術參數

型號：ZLM700
使用高性能數據處理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波長：
632.8 nm
激光穩頻精度：
一小時2x10-9（±0.002ppm）
壽命內2x10-8（±0.02ppm）
系統精度（0-40℃時）：
±0.4ppm
光束直徑：
6mm （可選3.2mm）
激光管突發最大輸出功率：
1mW （激光等級2）
每束光可測量的軸數：
1
線性測量距離：
40m，可擴展為120m
角度測量范圍：
± 15°，20m軸線范圍
平面度測量范圍：
20m行程
直線度測量范圍：
± 5mm，2m或10m行程，
選用角度干涉儀可測30m行程
垂直度測量范圍：
± 5mm，2m或10m行程，
30m行程需用角度干涉儀
最大速度：
4m/s，可選16m/s
80rad/s，角速度
最大加速：
無限制
采樣頻率：
內部1MHz，外部40MHz
預熱時間：
10分鐘
精度/非線性：
±0.3nm （角隅反射鏡）
±0.1nm （平面反射鏡）
距離測量分辨率：
0.6nm （角隅反射鏡）
0.3nm （平面反射鏡）
0.1nm 可選
距離測量精度：
（20°±0.5°） 使用AUK時
（20°±0.5°） 真空中時
 
±0.4ppm （μ/m）
±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
線性度測量分辨率：
0.6nm （角隅反射鏡）
0.3nm （平面反射鏡）
0.1nm 可選
線性度測量精度：
（20°±0.5°） 使用AUK時
（20°±0.5°） 真空中時
 
±0.4ppm （μ/m）
±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
速度測量精度：
±0.5ppm實測值
角度測量分辨率：
0.015μrad （3x10-3 弧秒）
角度測量精度：
±0.1ppm實測值
平面度測量分辨率：
0.015μrad （3x10-3 弧秒）
平面度測量精度：
±0.2%實測值
±0.05 弧度/米運行距離
直線度測量分辨率：
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
直線度測量精度：
±0.5%實測值，2m行程
± 2.5%實測值，10m行程
垂直度測量分辨率：
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
垂直度測量精度：
±0.5%實測值2m，± 0.5弧秒*
±2.5%實測值10m，± 0.5弧秒*
數據接口：
積分信號 32 Bit （實時時間） Dt » 20 ns
數據分析標準：
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環境：
溫度：15°C-30°C
濕度：<90%無冷凝
儲存環境：
溫度：10°C-40°C
濕度：<95%無冷凝
 

應用光路圖

以上為直線度測量示意圖，包括水平方向直線度和垂直方向直線度

以上是平面度測量示意圖

以上是垂直度測量示意圖

 以上是位移、線性度、速度、加速度、定位精度測量示意圖

以上是對角測量示意圖

 以上是俯仰角測量示意圖

以上是偏擺角測量示意圖

以上是滾動角測量示意圖

以上是回轉臺定位精度測量示意圖

資料下載耶拿爾雙頻激光干涉儀樣本（中文）.pdf激光干涉儀說明書（中文）.pdf

該公司產品分類： 變送器/信號轉換器 多通道溫度測量儀 載波包絡相位檢測儀 色散測量儀 激光對中儀 孔同軸度檢測儀 激光平面度檢測儀 激光幾何測量系統 激光平行度檢測儀 雙頻激光干涉儀 表面粗糙度輪廓儀

ML10 Gold激光干涉儀

儀器介紹     ML10 Gold 高性能激光干涉儀是機床、三坐標測量機及其它定位裝置精度校準 用的高性能儀器。由于采用了獨特的專利設計及的光電子技術，使ML10 Gold 激光干涉儀比市場上其它型號的激光干涉儀具有更高的性能和更的任選功能。 ML10 Gold 激光干涉儀提供有進行機器位置、幾何精度測量的全套光學器件。 ML10 Gold 激光測量系統所有功能都設計與Laser 10 軟件配合使用。除了測 量和分析診斷功能外，此軟件包的標準配置還包括動態測量、旋轉軸測量、雙軸測 量和電子水平儀及千分表程序接口模塊。 該激光干涉儀系統由激光頭ML10 Gold、環境監測補償器EC10，計算機接口卡 PC10* 或PCM20* 及高精度的光學器件組成。全部器件放在一個配小車的提箱內， 一人便可攜帶全部系統赴異地進行機器精度檢定，大大改善了激光干涉儀的便攜 性。 該激光干涉儀系統通過接口與IBM 兼容的PC 機（包括筆記本計算機）連接， 在靈活、直觀的軟件控制下進行自動測量，既節省了測量時間，又避免了人為誤 差，并能按國際上通行的標準進行數據分析處理，如ISO230-2、JIS-B6330、 VDI3441、VDI2617、ASME B89等并適用中國國家標準GB17421-2000等，以便于按 不同標準進行機床精度的評定和比較。 技術參數     1.線性測量分辨率: 0.001μm2.線性測量范圍： 40m（或任選80m）3.線性測量精度: ±0.7ppm4.測量速度： 60m/min5.穩頻精度： ±0.05ppm  

F601激光干涉儀日本富士F601專業維修

該公司產品分類： 儀器維修 儀器維修 執行器 保護板 調速板 接口轉換板 測速傳感器 繼電器 光學儀器 AVR勵磁控制調壓器 光學儀器 儀器銷售
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